[發(fā)明專利]透明電極板及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610608813.8
• 申請(qǐng)日: 2016-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN106855766A
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 權(quán)炅椿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 現(xiàn)代自動(dòng)車株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G06F3/044
• 分類號(hào): G06F3/044;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11240
• 代理人: 李靜,馬強(qiáng)

1.一種透明電極板，包括：

第一基板；以及

多個(gè)第一透明電極，設(shè)置在所述第一基板上并包括第一電極和第二電極，

其中，所述第一電極設(shè)置在所述第一基板上并且所述第一電極由銀或銅制成，并且

其中，所述第二電極設(shè)置在所述第一電極上并且所述第二電極由氧化銦錫或摻雜氟的氧化錫制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明電極板，其中，所述第一電極的厚度為1μm至10μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透明電極板，其中，所述第二電極的厚度為0.02μm至0.2μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透明電極板，其中，彼此相鄰的所述第一透明電極之間間隔25μm至100μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明電極板，進(jìn)一步包括多個(gè)第一虛擬電極，所述多個(gè)第一虛擬電極設(shè)置在所述第一基板上，其中，所述多個(gè)第一虛擬電極中的一個(gè)第一虛擬電極設(shè)置在所述多個(gè)第一透明電極中的兩個(gè)相鄰的第一透明電極之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的透明電極板，其中，所述多個(gè)第一虛擬電極分別包括設(shè)置在所述第一基板上的第三電極，以及設(shè)置在所述第三電極上的第四電極。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的透明電極板，其中，所述第三電極由與所述第一電極相同的材料制成，并且所述第一電極和所述第三電極的厚度為1μm至10μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的透明電極板，其中，所述第四電極由與所述第二電極相同的材料制成，并且所述第二電極的厚度為0.02μm至0.2μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的透明電極板，其中，彼此相鄰的所述第一透明電極和所述第一虛擬電極間隔25μm至100μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的透明電極板，進(jìn)一步包括：附接至所述第一基板的底表面的第二基板，以及設(shè)置在所述第二基板的表面上多個(gè)第二透明電極和多個(gè)第二虛擬電極，其中，所述多個(gè)第二虛擬電極中的一個(gè)第二虛擬電極設(shè)置在所述多個(gè)第二透明電極中的兩個(gè)相鄰的第二透明電極之間。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的透明電極板，其中，所述多個(gè)第二透明電極分別包括設(shè)置在所述第二基板的表面上的第五電極以及設(shè)置在所述第五電極上的第六電極，并且所述多個(gè)第二虛擬電極分別包括設(shè)置在所述第二基板的表面上的第七電極以及設(shè)置在所述第七電極上的第八電極。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的透明電極板，其中，所述第五電極和所述第七電極由銀或銅制成，并且所述第五電極和所述第七電極的厚度為1μm至10μm。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的透明電極板，其中，所述第六電極和所述第八電極由氧化銦錫或摻雜氟的氧化錫制成，并且所述第六電極和所述第八電極的厚度為0.02μm至0.2μm。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的透明電極板，其中，彼此相鄰的所述第二透明電極和所述第二虛擬電極之間間隔25μm至100μm。

15.根據(jù)權(quán)利要求6所述的透明電極板，進(jìn)一步包括：附接至所述第一基板的底表面的第二基板，以及設(shè)置在所述第二基板的表面上的多個(gè)第二透明電極和多個(gè)第二虛擬電極，其中，所述第一虛擬電極和所述第二虛擬電極相對(duì)于所述第一基板和所述第二基板為對(duì)齊對(duì)稱的。

16.一種透明電極板的制造方法，包括：

在第一基板上形成由銀或銅制成的第一電極層；

在所述第一電極層上形成由氧化銦錫或摻雜氟的氧化錫制成的第二電極層；并且

使用激光器通過蝕刻所述第一電極層和所述第二電極層形成多個(gè)第一透明電極和多個(gè)第一虛擬電極。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造方法，其中，所述第一電極層的厚度為1μm至10μm，并且所述第二電極層的厚度為0.02μm至0.2μm。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制造方法，其中，所述多個(gè)第一虛擬電極中的一個(gè)第一虛擬電極形成在所述多個(gè)第一透明電極中的兩個(gè)第一透明電極之間，并且彼此相鄰的所述第一透明電極和所述第一虛擬電極之間間隔25μm至100μm。