[發明專利]超聲波器件、超聲波組件、電子設備以及超聲波測定裝置

有效

• 申請號: 201610608383.X
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN106388858B
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 清瀨攝內;巖井光
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: A61B8/00
• 分類號: A61B8/00;A61B8/06;G01N29/22;B08B3/12
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 田喜慶;吳孟秋

本發明提供一種能夠抑制翹曲的超聲波器件、超聲波組件、電子設備以及超聲波測定裝置。超聲波器件(22)具備：元件基板(41)，具備將多個超聲波換能器(51)配置為陣列狀的超聲波換能器陣列(50)，并具有第一面以及與第一面相反側的第二面；端子部，設置于元件基板(41)的第一面并且在從第一面的法線方向觀察的俯視下比超聲波換能器陣列(50)靠外側處，并與超聲波換能器(51)進行電連接；以及加固板(45)，設置于元件基板(41)的第二面并在俯視下與端子部重疊的區域，并且彎曲剛性比元件基板(41)大。

技術領域

本發明涉及超聲波器件、超聲波組件、電子設備以及超聲波測定裝置。

背景技術

以往，已知具備可動膜并通過使該可動膜振動而輸出超聲波的超聲波器件(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1的超聲波探頭的超聲波收發部具備支承部件、設置于支承部件中的與超聲波的放射方向相反側的隔膜(可動膜)和設置于支承部件的所述相反側并密封隔膜的密封部件。然后，在支承部件的所述相反側的面設置有與構成隔膜的電極層電連接的端子部，該端子部經由焊接凸點連接于設置在密封部件的貫穿電極的一端部。據此，將貫穿電極的另一端部連接在布線基板上，從而能夠將超聲波收發部安裝在布線基板上。

專利文獻1：日本專利特開2011-259274號公報

發明內容

但是，作為將超聲波收發部安裝在布線基板的其他的方法，可考慮例如使用FPC(Flexible Printed Circuits：柔性印刷電路)的方法。

在該方法中，在密封部件上設置有使設置于支承部件的端子部露出的通孔，FPC被插入在該通孔，FPC的電極與端子部連接。然后，位于通孔之外的FPC的其他的電極連接于布線基板，從而能夠將超聲波收發部安裝在布線基板上。這種情況下，為了保護從密封部件露出的端子部，由樹脂等的保護部件覆蓋端子部。

然而，根據該構成，保護部件由例如將超聲波收發部安裝在布線基板時的熱而軟化，這之后，在硬化時發生收縮。然后，伴隨該收縮的應力施加到支承部件。在薄膜狀的超聲波換能器中，由于使用薄型的支承部件，因此對支承部件施加應力時，支承部件發生翹曲。

本發明的目的在于提供能夠抑制翹曲的超聲波器件、超聲波組件、電子設備以及超聲波測定裝置。

本發明的一應用例的超聲波器件，其特征在于，具備：元件基板，具備將多個超聲波換能器配置為陣列狀的超聲波換能器陣列，并具有第一面以及與所述第一面相反側的第二面；端子部，設置于所述元件基板的所述第一面并且在從所述第一面的法線方向觀察的俯視下比所述超聲波換能器陣列靠外側處，并且與所述超聲波換能器進行電連接；以及加固板，設置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯視下設置于與所述端子部重疊的區域，彎曲剛性比所述元件基板大。

超聲波器件例如使用FPC而被安裝在布線基板上。這種情況下，端子部連接于FPC的電極，進一步地，由樹脂等的保護部件覆蓋。然后，通過將FPC的其他的電極連接于布線基板，從而使超聲波器件安裝在布線基板。此時，保護部件由例如安裝時的熱而軟化，這之后，在硬化時發生收縮。然后，伴隨該收縮的應力被施加到元件基板。作為超聲波器件向布線基板的安裝方法，另外，可考慮例如使用焊錫等將設置于元件基板的端子部直接連接在布線基板等，即使在這種情況下，也存在伴隨焊錫的收縮的應力被施加到元件基板或由將熔融狀態的焊接抵接在端子部時的熱而使元件基板本身發生收縮的情況。

在此，在本應用例中，如上述那樣，在元件基板的第二面且在所述俯視下與端子部重疊的區域設置有彎曲剛性比元件基板大的(硬的)加固板。根據該構成，例如，在將FPC連接在元件基板的端子部并由保護部件覆蓋該連接部分的情況下，即使由保護部件的收縮產生的應力施加在了元件基板，由于與元件基板的端子部對應的區域由加固板增強，因此能夠抑制元件基板的翹曲。