[發明專利]超聲波器件、超聲波組件、電子設備以及超聲波測定裝置有效
| 申請號: | 201610608383.X | 申請日: | 2016-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN106388858B | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發明(設計)人: | 清瀨攝內;巖井光 | 申請(專利權)人: | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號: | A61B8/00 | 分類號: | A61B8/00;A61B8/06;G01N29/22;B08B3/12 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 田喜慶;吳孟秋 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 超聲波 器件 組件 電子設備 以及 測定 裝置 | ||
1.一種超聲波器件,其特征在于,具備:
元件基板,具備將多個超聲波換能器配置為陣列狀的超聲波換能器陣列,并具有第一面以及與所述第一面相反側的第二面;
端子部,設置于所述元件基板的所述第一面并且在從所述第一面的法線方向觀察的俯視下比所述超聲波換能器陣列靠外側處,并與所述超聲波換能器進行電連接;以及
加固板,設置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯視下與所述端子部重疊的區域,并且彎曲剛性比所述元件基板大,
所述加固板在所述俯視下形成為框狀,并且包圍所述超聲波換能器陣列,
所述超聲波換能器陣列具有沿相對于第一方向交叉的第二方向配置多個超聲波換能器組的陣列構造,所述超聲波換能器組由沿所述第一方向排列并且通過同一信號線連接的多個所述超聲波換能器構成,
在所述元件基板上,在所述超聲波換能器陣列的所述第二方向的兩端側設置有沿所述第一方向排列的多個評價用超聲波換能器,
所述端子部分別配置于各所述超聲波換能器組的所述第一方向的兩端側,
所述加固板具備端子區域加固部和評價元件區域加固部,所述端子區域加固部在所述超聲波換能器陣列中的所述第一方向的兩端側沿所述第二方向配置,所述評價元件區域加固部在所述超聲波換能器陣列中的所述第二方向的兩端側且在所述俯視下與多個所述評價用超聲波換能器重疊的區域沿所述第一方向配置。
2.根據權利要求1所述的超聲波器件,其特征在于,
所述超聲波器件具備設置于所述元件基板的所述第一面側的密封板,
在所述密封板上,在所述俯視下與所述端子部重疊的區域設置有在厚度方向上貫穿所述密封板的通孔,
所述加固板設置于在所述俯視下與所述通孔重疊的區域。
3.根據權利要求1或2所述的超聲波器件,其特征在于,
所述元件基板具有基準厚度部和薄厚度部,所述基準厚度部具有預定的基準厚度尺寸,所述薄厚度部的厚度尺寸比所述基準厚度部小,
所述元件基板中的被設置所述加固板的區域是所述薄厚度部,并且所述元件基板中的被設置所述加固板的區域處的所述第二面位于比所述基準厚度部處的所述第二面靠所述第一面側處。
4.根據權利要求3所述的超聲波器件,其特征在于,
所述元件基板具備:開口部,與多個所述超聲波換能器分別對應;以及振動部,堵塞所述開口部的所述第一面側,
所述元件基板的被設置所述加固板的區域處的所述第二面與所述振動部的面對所述開口部的面是同一平面。
5.根據權利要求1或2所述的超聲波器件,其特征在于,
所述元件基板具備:開口部,與多個所述超聲波換能器的分別對應;振動部,堵塞所述開口部的所述第一面側,
所述加固板中的未與所述元件基板接合的面位于與所述開口部的開口面同一平面,或者位于相對于所述開口面更遠離所述第一面的方向處。
6.根據權利要求1或2所述的超聲波器件,其特征在于,
所述加固板還具備元件間區域加固部,所述元件間區域加固部配置于在所述俯視下所述超聲波換能器之間。
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