[發明專利]具有可控線性偏振的光源

有效

• 申請號: 201610608330.8
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN107664848B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: R·P·泰拉;D·C·布里克;Y·韓;A·克萊克澤夫斯基
• 申請（專利權）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28
• 代理公司: 北京坤瑞律師事務所 11494
• 代理人: 封新琴

公開一種光源，其具有：第一和第二線柵偏振器；以及激光器，其發射由傳輸方向表征的線性偏振光束。第一線柵偏振濾波器由第一線性偏振傳遞方向以及用于使得第一線性偏振傳遞方向相對于線性偏振光束旋轉的第一激勵器表征。第二線柵偏振濾波器由第二線性偏振傳遞方向以及用于使得第二線性偏振傳遞方向相對于線性偏振光束旋轉的第二激勵器表征。控制器設置第一和第二線性偏振傳遞方向以提供具有所指定的偏振方向的線性偏振光。

背景技術

量子級聯激光器提供可以用于分光計測量和圖像的可調諧中紅外(MIR)光源。很多興趣化學成分具有在跨越5至25微米之間波長的光譜的MIR區域中受激勵的分子振動。因此，測量樣本上的各個位置處的MIR光的吸收或MIR光的反射可以提供關于樣本的化學的有用信息作為樣本上的位置的函數。

發明內容

本發明包括一種光源，具有：第一和第二線柵偏振器；以及激光器，其發射由傳輸方向表征的線性偏振光束。第一線柵偏振濾波器由第一線性偏振傳遞方向以及用于使得第一線性偏振傳遞方向相對于線性偏振光束旋轉的第一激勵器表征。第一線柵偏振濾波器定位為使得線性偏振光束傳遞通過第一線柵偏振濾波器。第二線柵偏振濾波器由第二線性偏振傳遞方向以及用于使得第二線性偏振傳遞方向相對于線性偏振光束旋轉的第二激勵器表征。第二線柵偏振濾波器定位為使得線性偏振光束在傳遞通過第一線柵偏振濾波器之后傳遞通過第二線柵偏振濾波器。控制器設置第一和第二線性偏振傳遞方向以提供具有所指定的偏振方向的線性偏振光。

在本發明一個方面中，第一線柵偏振濾波器包括第一透明平坦基板上的金屬化線路的平行柵格，第一透明平坦基板相對于傳輸方向成角度，使得從第一線柵偏振濾波器反射的光不在與傳輸方向平行的方向上傳輸。

在本發明另一方面中，第二線柵偏振濾波器包括第二透明平坦基板上的金屬化線路的平行柵格，第二透明平坦基板相對于傳輸方向成角度，使得從第二線柵偏振濾波器反射的光不在與傳輸方向平行的方向上傳輸，并且使得從第二線柵偏振濾波器反射的光不在與從第一線柵濾波器反射的光平行的方向上傳輸。

在本發明另一方面中，第一激光器是量子級聯激光器，其在2至14微米之間的波長帶中發射光。

在本發明另一方面中，第一和第二平坦基板對于2至14微米之間的波長的光是透明的。第一平坦基板可以是包括選自由BaF₂、ZnSe、ZnS、ZnTe、金剛石和Si構成的組的物質的玻璃。

在本發明另一方面中，光源包括第二激光器和波束引導器。第二激光器在與第一激光器不同的波長帶中發射線性偏振光束。波束引導器使得來自第二激光器的光在與來自第一激光器的光貫穿通過第一線柵偏振濾波器的路徑一致的路徑上進入第一線柵偏振濾波器。

在本發明又一方面中，光源包括第一和第二光學組件。第一光學組件將離開第二線柵偏振濾波器的光引導到標本上。第二光學組件收集離開標本的光，并且將收集到的光引導到偏振分析器上，其測量光強度作為偏振方向的函數。控制器使得偏振分析器針對多個不同的第一和第二線性偏振傳遞方向測量光強度。

附圖說明

圖1示出使用根據本發明的光源的譜儀的一個實施例。

圖2示出根據本發明的光源的一個實施例。

圖3示出利用多個量子級聯激光器和單個偏振旋轉器以提供期望的波長和偏振方向的光源。

具體實施方式

基于MIR光源的成像系統可以提供關于正成像的樣本的基礎化學性質的信息。此外，通過測量入射MIR光的反射和吸收作為波長的函數，可以獲得在正取得數據的點的樣本的化學性質的更精準的標識。