[發明專利]具有可控線性偏振的光源

有效

• 申請號: 201610608330.8
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN107664848B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: R·P·泰拉;D·C·布里克;Y·韓;A·克萊克澤夫斯基
• 申請（專利權）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28
• 代理公司: 北京坤瑞律師事務所 11494
• 代理人: 封新琴

1.一種光源，包括：

第一激光器，其發射由傳輸方向所表征的線性偏振光束；

第一線柵偏振濾波器，其由第一線性偏振傳遞方向以及用于使得所述第一線性偏振傳遞方向相對于所述線性偏振光束旋轉的第一激勵器所表征，所述第一線柵偏振濾波器定位為使得所述線性偏振光束傳遞通過所述第一線柵偏振濾波器；

第二線柵偏振濾波器，其由第二線性偏振傳遞方向以及用于使得所述第二線性偏振傳遞方向相對于所述線性偏振光束旋轉的第二激勵器所表征，所述第二線柵偏振濾波器定位為使得所述線性偏振光束在傳遞通過所述第一線柵偏振濾波器之后傳遞通過所述第二線柵偏振濾波器；以及

控制器，其用于設置所述第一和第二線性偏振傳遞方向，以提供具有所指定的偏振方向的線性偏振光，對于指定偏振值的至少一個值，所述第一線性偏振傳遞方向與所述第二線性偏振傳遞方向不同。

2.如權利要求1所述的光源，其中，所述第一激光器是量子級聯激光器，其在2至14微米之間的波長帶中發射光。

3.如權利要求1所述的光源，還包括：

第二激光器，其發射線性偏振光束，所述第二激光器在相比于所述第一激光器不同的波長帶中發射光；以及

波束引導器，其使得來自所述第二激光器的光在與來自所述第一激光器的光貫穿通過所述第一線柵偏振濾波器的路徑一致的路徑上進入所述第一線柵偏振濾波器。

4.如權利要求1所述的光源，還包括：

第一光學組件，其將離開所述第二線柵偏振濾波器的光引導到標本上；以及

第二光學組件，其收集離開所述標本的光，并且將收集到的光引導到測量作為偏振方向的函數的光強度的偏振分析器，所述控制器使得所述偏振分析器針對多個不同的第一和第二線性偏振傳遞方向測量所述光強度，對于所述指定偏振值的至少一個值，所述第一線性偏振傳遞方向與所述第二線性偏振傳遞方向不同。

5.如權利要求1所述的光源，其中，所述第一線柵偏振濾波器包括第一平坦基板上的金屬化線路的平行柵格，所述第一平坦基板相對于所述傳輸方向的垂線成3至6度之間角度，使得從所述第一線柵偏振濾波器反射的光不在與所述傳輸方向平行的方向上傳輸。

6.如權利要求5所述的光源，其中，所述第一平坦基板對于2至14微米之間的波長的光是透明的。

7.如權利要求5所述的光源，其中，所述第一平坦基板是包括從由BaF₂、ZnSe、ZnS、ZnTe、金剛石和Si構成的組中選擇出的物質的玻璃。

8.如權利要求1所述的光源，其中，所述第二線柵偏振濾波器包括第二平坦基板上的金屬化線路的平行柵格，所述第二平坦基板相對于所述傳輸方向的垂線成3至6度之間角度，使得從所述第二線柵偏振濾波器反射的光不在與所述傳輸方向平行的方向上傳輸，并且使得從所述第二線柵偏振濾波器反射的光不在與從所述第一線柵偏振濾波器反射的光平行的方向上傳輸。

9.如權利要求8所述的光源，其中，所述第二平坦基板對于2至14微米之間的波長的光是透明的。

10.一種用于照射標本的方法，包括：

用發射由傳輸方向表征的線性偏振光束的第一激光器照射第一線柵偏振濾波器，所述第一線柵偏振濾波器由第一線性偏振傳遞方向表征；所述第一線柵偏振濾波器定位為使得所述線性偏振光束的一部分傳遞通過所述第一線柵偏振濾波器；

照射由第二線性偏振傳遞方向所表征的第二線柵偏振濾波器，所述第二線柵偏振濾波器定位為使得所述線性偏振光束在傳遞通過所述第一線柵偏振濾波器之后傳遞通過所述第二線柵偏振濾波器，所述第一和第二線性偏振傳遞方向受調整，使得離開所述第二線柵偏振濾波器的光是具有所指定的偏振方向和幅度的線性偏振光，并且離開所述第二線柵偏振濾波器的所述光的第一部分被引導到所述標本上，且離開所述第二線柵偏振濾波器的所述光的第二部分被引導到檢測器上，所述檢測器測量所述第二部分中的光強度。