[發(fā)明專利]一種晶圓級(jí)可靠性熱載子的并行測(cè)試方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610606956.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106226671A | 公開（公告）日： | 2016-12-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王偉;呂少力 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01R31/26 | 分類號(hào)： | G01R31/26;G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶圓級(jí) 可靠性 熱載子 并行 測(cè)試 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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G01 測(cè)量；測(cè)試
G01R 測(cè)量電變量；測(cè)量磁變量
G01R31-00 電性能的測(cè)試裝置；電故障的探測(cè)裝置；以所進(jìn)行的測(cè)試在其他位置未提供為特征的電測(cè)試裝置
G01R31-01 .對(duì)相似的物品依次進(jìn)行測(cè)試，例如在成批生產(chǎn)中的“過端—不過端”測(cè)試；測(cè)試對(duì)象多點(diǎn)通過測(cè)試站
G01R31-02 .對(duì)電設(shè)備、線路或元件進(jìn)行短路、斷路、泄漏或不正確連接的測(cè)試
G01R31-08 .探測(cè)電纜、傳輸線或網(wǎng)絡(luò)中的故障
G01R31-12 .測(cè)試介電強(qiáng)度或擊穿電壓
G01R31-24 .放電管的測(cè)試
G01R 測(cè)量電變量；測(cè)量磁變量
G01R31-00 電性能的測(cè)試裝置；電故障的探測(cè)裝置；以所進(jìn)行的測(cè)試在其他位置未提供為特征的電測(cè)試裝置
G01R31-01 .對(duì)相似的物品依次進(jìn)行測(cè)試，例如在成批生產(chǎn)中的“過端—不過端”測(cè)試；測(cè)試對(duì)象多點(diǎn)通過測(cè)試站
G01R31-02 .對(duì)電設(shè)備、線路或元件進(jìn)行短路、斷路、泄漏或不正確連接的測(cè)試
G01R31-08 .探測(cè)電纜、傳輸線或網(wǎng)絡(luò)中的故障
G01R31-12 .測(cè)試介電強(qiáng)度或擊穿電壓
G01R31-24 .放電管的測(cè)試
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