[發(fā)明專利]制造太陽(yáng)能電池的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610596438.X
• 申請(qǐng)日: 2016-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106252458B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁榮成;權(quán)炯鎮(zhèn);金忠義;崔政勛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: LG電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,劉久亮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種制造太陽(yáng)能電池的方法，且更具體地，涉及一種具有在半導(dǎo)體基板上或?qū)щ妳^(qū)域上形成的保護(hù)膜的太陽(yáng)能電池的制造方法。

背景技術(shù)

近來(lái)，由于現(xiàn)有能源(諸如石油和煤炭)的耗盡，對(duì)于代替現(xiàn)有能源的替代性能源越來(lái)越感興趣。最重要的是，太陽(yáng)能電池是將太陽(yáng)光轉(zhuǎn)換成電能的受歡迎的下一代電池。

太陽(yáng)能電池可以通過(guò)基于某種設(shè)計(jì)而形成各種層和電極來(lái)制造。太陽(yáng)能電池的效率可以通過(guò)各種層和電極的設(shè)計(jì)來(lái)確定。為了使太陽(yáng)能電池商用化，需要克服低效率的問(wèn)題，且由此，需要設(shè)計(jì)各種層和電極以便最大化太陽(yáng)能電池的效率。

在一個(gè)示例中，太陽(yáng)能電池被設(shè)置有各種保護(hù)膜，以便實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體基板或半導(dǎo)體層的鈍化、物理保護(hù)和電絕緣。這些保護(hù)膜可以通過(guò)例如熱氧化或沉積來(lái)形成。通過(guò)熱氧化形成的保護(hù)膜可能難以精確地控制其厚度且難以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的膜特性。另外，在包括源氣和載氣(根據(jù)需要)的氣體環(huán)境下執(zhí)行沉積，該源氣含有用于構(gòu)成保護(hù)膜的元素。然而，僅使用基本氣體(諸如源氣和載氣)形成的保護(hù)膜可能具有高界面陷阱密度，且可能不具有對(duì)半導(dǎo)體基板或半導(dǎo)體層的良好鈍化。因此，需要一種制造具有良好特性的保護(hù)膜的方法。

發(fā)明內(nèi)容

因此，鑒于上述問(wèn)題已做出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是提供一種制造太陽(yáng)能電池的方法，該方法能夠通過(guò)具有良好特性的保護(hù)膜的形成來(lái)制造具有良好效率的太陽(yáng)能電池。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，上述目的和其它目的可以通過(guò)提供一種制造太陽(yáng)能電池的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)，該方法包括以下步驟：在包括基區(qū)的半導(dǎo)體基板之上使用絕緣膜形成保護(hù)膜，所述基區(qū)具有第一導(dǎo)電類型并且由晶體硅形成。所述形成的步驟包括在包括具有鹵素元素的鹵素氣體的氣體環(huán)境下在600攝氏度或更高的熱處理溫度下執(zhí)行熱處理工藝。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的上述和其它目的、特征和其它優(yōu)點(diǎn)將從下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述中被更加清楚地理解，在附圖中：

圖1是例示由根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的制造太陽(yáng)能電池的方法制造的太陽(yáng)能電池的一個(gè)示例的截面圖；

圖2是圖1中例示的太陽(yáng)能電池的部分后視平面圖；

圖3a、圖3b、圖3c、圖3d、圖3e和圖3f是例示根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的制造太陽(yáng)能電池的方法的截面圖；

圖4是例示熱處理裝置的一個(gè)示例的視圖，該熱處理裝置可以執(zhí)行在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法中的熱處理工藝；

圖5是例示在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法中的熱處理工藝的溫度循環(huán)的示圖；

圖6a和圖6b是例示在根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法中形成控制鈍化層的操作的截面圖；

圖7是例示由根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法制造的太陽(yáng)能電池的另一示例的截面圖；

圖8是圖7中例示的太陽(yáng)能電池的示意性平面圖；

圖9a、圖9b、圖9c和圖9d是例示根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法的截面圖；

圖10a、圖10b、圖10c和圖10d是例示根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法的截面圖；

圖11是根據(jù)實(shí)驗(yàn)示例1的太陽(yáng)能電池的光致發(fā)光(PL)照片；

圖12是根據(jù)比較示例1的太陽(yáng)能電池的PL照片；

圖13是根據(jù)比較示例2的太陽(yáng)能電池的PL照片；

圖14是例示測(cè)量根據(jù)實(shí)驗(yàn)示例1和比較示例1的太陽(yáng)能電池的默示開(kāi)路電壓的結(jié)果的曲線圖；以及

圖15是例示在900攝氏度的溫度下執(zhí)行附加熱處理之后測(cè)量根據(jù)實(shí)驗(yàn)示例1和2以及比較示例1的太陽(yáng)能電池的默示開(kāi)路電壓的結(jié)果的曲線圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，這些優(yōu)選實(shí)施方式的示例被例示在附圖中。然而，將理解的是，本發(fā)明不應(yīng)限于這些實(shí)施方式并且可以以各種方式來(lái)修改。

在附圖中，為了清楚且簡(jiǎn)潔地說(shuō)明本發(fā)明，省略了對(duì)與描述無(wú)關(guān)的元件的例示，并且相同或極其類似的元件在通篇說(shuō)明書(shū)中由相同的附圖標(biāo)記來(lái)指定。另外，在附圖中，為了更清楚地說(shuō)明，夸大或縮小了元件的維數(shù)(諸如厚度、寬度等)，并且由此，本發(fā)明的厚度、寬度等不限于附圖的例示。