[發明專利]SEN離子注入機臺的自動化程式正確性管理方法及裝置有效
| 申請號： | 201610585587.6 | 申請日： | 2016-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN106294126B | 公開（公告）日： | 2019-01-04 |
| 發明（設計）人： | 孫天拓;戴樹剛;胡榮 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06F11/36 | 分類號： | G06F11/36 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | sen 離子 注入 機臺 自動化 程式 正確性 管理 方法 裝置 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華力微電子有限公司，未經上海華力微電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610585587.6/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種防火門監控開關
- 下一篇：一種高速電力高頻交流固態繼電器
