[發(fā)明專利]SEN離子注入機(jī)臺的自動化程式正確性管理方法及裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610585587.6 | 申請日： | 2016-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN106294126B | 公開（公告）日： | 2019-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 孫天拓;戴樹剛;胡榮 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06F11/36 | 分類號： | G06F11/36 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | sen 離子 注入 機(jī)臺 自動化 程式 正確性 管理 方法 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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