[發明專利]一種電磁波諧振裝置

在審

• 申請號: 201610582818.8
• 申請日: 2016-07-22
• 公開（公告）號: CN107644801A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明應用于高能離子注入機，電磁波諧振裝置使離子加速方式不同于以往的高壓直流加速，而是使高能離子注入機采用射頻加速方式。

背景技術

目前國外高能離子注入機多數采用射頻加速方式實現高能量，相比于直流高壓加速方式，射頻加速方式具有更容易實現較高能量、更加穩定等優點。射頻加速系統中，每個加速電極采用獨立的RF功率電源系統以便于獨立調節RF電壓復制和相位，提高加速效率。每個RF功率源的同步控制對加速系統性能影響很大，其電壓控制方式也不同于現有直流高壓系統，因此需要突破相關技術。電磁波諧振裝置作為射頻加速中的核心部件，其重要性顯而易見。

發明內容

本發明公開了一種電磁波諧振裝置，主要用于高能離子注入機系統，使離子更容易獲得高能量、高穩定性等特點，在高能離子注入機加速系統起到至關重要的作用。

本發明通過以下技術方案實現：

電磁波諧振裝置包括：電感線圈(1)、等效電容(2)、漂移管(3)、四極透鏡(4)、電容調節裝置(5)和電容調節環(6)。其特征在于：電感線圈(1)、等效電容(2)、漂移管(3)和四極透鏡(4)組成諧 振裝置的主體部分，通過確定諧振裝置中的電感、電容確定諧振腔的諧振頻率；電容調節裝置(5)和電容調節環(6)調節等效電容C的大小，從而調節諧振腔的諧振頻率、駐波比、阻抗、電阻、電抗。本發明中電磁波諧振裝置諧振頻率Fr＝13.56MHz，駐波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，電阻R＝50，電抗X＝0。

具體實施方式

1、電磁波諧振裝置包括：電感線圈(1)、等效電容(2)、漂移管(3)、四極透鏡(4)、電容調節裝置(5)和電容調節環(6)。

2、電感線圈(1)、等效電容(2)、漂移管(3)和四極透鏡(4)組成諧振裝置的主體部分，通過確定諧振裝置的等效電感L、等效電容C，確定諧振腔的諧振頻率Fr；

3、電容調節裝置(5)通過其端面與腔體底部內表面的距離d，，從而改變的電容的大小(詳見說明書附圖2)，d增加時Fr增大，d減小時Fr減小，從而調節諧振腔的諧振頻率、駐波比、阻抗、電阻、電抗；

4、電容調節環(6)通過調節其端面與腔體底部內表面的距離d1(詳見說明書附圖3)，d1增加時Fr增大，d1減小時Fr減小，從而調節諧振腔的諧振頻率、駐波比、阻抗、電阻、電抗。

本發明中電磁波諧振裝置諧振頻率Fr＝13.56MHz，駐波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，電阻R＝50，電抗X＝0。

本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任

附圖說明

圖1電感線圈

圖2電容調節裝置

圖3電容調節環。