[發(fā)明專利]一種電磁波諧振裝置

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• 申請日: 2016-07-22
• 公開（公告）號: CN107644801A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.電磁波諧振裝置包括：電感線圈(1)、等效電容(2)、漂移管(3)、四極透鏡(4)、電容調(diào)節(jié)裝置(5)和電容調(diào)節(jié)環(huán)(6)。

其特征在于：電感線圈(1)、等效電容(2)、漂移管(3)和四極透鏡(4)組成諧振裝置的主體部分，通過確定諧振裝置中的電感、電容確定諧振腔的諧振頻率；電容調(diào)節(jié)裝置(5)和電容調(diào)節(jié)環(huán)(6)調(diào)節(jié)等效電容C的大小，從而調(diào)節(jié)諧振腔的諧振頻率、駐波比、阻抗、電阻、電抗。本發(fā)明中電磁波諧振裝置諧振頻率Fr＝13.56MHz，駐波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，電阻R＝50，電抗X＝0。

2.如權(quán)利要求1所示的一種電磁波諧振裝置，電感線圈(1)其特征在于：電感線圈(1)作為高頻振蕩線圈與等效電容(2)、漂移管(3)、四極透鏡(4)構(gòu)成電磁波諧振腔的主體部分。根據(jù)諧振裝置的諧振頻率Fr＝13.56MHz，電感線圈(1)主要的設(shè)計參數(shù)：螺旋半徑R＝101.7mm，螺距d＝41.6mm，線圈匝數(shù)n＝7.25(詳見說明書附圖1)。

3.如權(quán)利要求1所示的一種電磁波諧振裝置，等效電容(2)包括：諧振腔外殼、腔體底板。其特征在于：等效電容(2)與電感線圈(1)、漂移管(3)、四極透鏡(4)構(gòu)成電磁波諧振腔的主體部分。根據(jù)諧振裝置的諧振頻率Fr＝13.56MHz，等效電容(2)的主要參數(shù)設(shè)計：環(huán)形諧振腔內(nèi)徑Φ＝197.5，環(huán)形腔整體長度L＝606。

4.如權(quán)利要求1所示的一種電磁波諧振裝置，漂移管(3)、四極透鏡(4)其特征在于：漂移管(3)、四極透鏡(4)構(gòu)成諧振裝置的主要電容，與電感線圈(1)、等效電容(2)構(gòu)成電磁波諧振裝置的主體部分。其中四極透鏡(4)為地電位，與漂移管(3)端面形成電容，離子在兩端面間進行加速，當(dāng)離子運動到漂移管(3)內(nèi)部時，漂移管(3)內(nèi)部無電位差，離子做勻速運動。在同一射頻加速系統(tǒng)中離子在不同位置獲得的能量不同，運動速度不同，因此漂移 管(3)的形狀、尺寸需根據(jù)具體使用具體設(shè)計。

5.如權(quán)利要求1所示的一種電磁波諧振裝置，電容調(diào)節(jié)裝置(5)和電容調(diào)節(jié)環(huán)(6)，其特征在于：在機械加工過程中并不能保證每次加工的電感線圈(1)、等效電容(2)完全相同，諧振裝置的諧振頻率Fr，駐波比SWR，阻抗|Z|，電阻R，電抗X，存在一定的誤差。需要電容調(diào)節(jié)裝置(5)和電容調(diào)節(jié)環(huán)(6)對電磁波諧振裝置的等效電容(2)進行微調(diào)，從而保證電磁波諧振裝置滿足主要設(shè)計參數(shù)：電磁波諧振裝置諧振頻率Fr＝13.56MHz，駐波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50，電阻R＝50，電抗X＝0。