[發明專利]一種透明導電氧化物薄膜及其制備方法在審
| 申請號： | 201610573667.X | 申請日： | 2016-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN106048530A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 劉生忠;肖鋒偉;訾威 | 申請（專利權）人： | 陜西師范大學 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08;C23C14/58;H01L21/321;H01L21/28 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 李宏德 |
| 地址： | 710062 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透明 導電 氧化物 薄膜 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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