[發明專利]有機發光二極管制造方法及有機發光二極管制造設備

在審

• 申請號: 201610565279.7
• 申請日: 2016-07-18
• 公開（公告）號: CN107634152A
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 劉振宇;林熙乾;林建宏;劉正平;柯山文
• 申請（專利權）人: 宸鴻光電科技股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國

1.一種有機發光二極管制造方法，其特征在于，包含：

提供一基板，其中該基板上形成有多個發光材料；

放置一光罩于該基板上方，其中該光罩具有多個開口區；以及

以一閃爍光源經由所述多個開口區對所述多個發光材料進行照射，進而使得所述多個發光材料中的至少兩相鄰者之間的接觸部分被氣化或燒結。

2.根據權利要求1所述的有機發光二極管制造方法，其特征在于，所述多個發光材料中的該至少兩相鄰者之間具有一重疊區域，且該有機發光二極管制造方法還包含：

將該光罩與該基板進行對位，使得所述多個開口區的其中之一于該基板上的一正投影至少涵蓋該重疊區域。

3.根據權利要求2所述的有機發光二極管制造方法，其特征在于，該以該閃爍光源經由所述多個開口區對所述多個發光材料進行照射的步驟，是使得所述多個發光材料位于所述多個開口區的正投影內的部分被氣化或燒結。

4.根據權利要求1所述的有機發光二極管制造方法，其特征在于，該以該閃爍光源經由所述多個開口區對所述多個發光材料進行照射的步驟，是在一真空環境下進行。

5.根據權利要求1所述的有機發光二極管制造方法，其特征在于，該以該閃爍光源經由所述多個開口區對所述多個發光材料進行照射的步驟，是在一氮氣環境下進行。

6.一種有機發光二極管制造設備，其特征在于，包含：

一承載座，用以承載一基板，其中該基板上形成有多個發光材料；

一光罩，設置于該基板上方，其中該光罩具有多個開口區；以及

一閃爍光源，設置于該光罩上方，用以經由所述多個開口區對所述多個發光材料進行照射，進而使得所述多個發光材料中的至少兩相鄰者之間的接觸部分被氣化或燒結。

7.根據權利要求6所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，所述多個發光材料中的該至少兩相鄰者之間具有一重疊區域，該有機發光二極管制造設備還包含一基板對位模塊，該基板對位模塊操作性連接該承載座，用以使 該基板與該光罩對位，使得所述多個開口區其中之一于該基板上的一正投影涵蓋該重疊區域。

8.根據權利要求6所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，所述多個發光材料中的該至少兩相鄰者之間具有一重疊區域，該有機發光二極管制造設備還包含一光罩對位模塊，該光罩對位模塊用以使該光罩與該承載座對位，使得所述多個開口區其中之一于該基板上的一正投影涵蓋該重疊區域。

9.根據權利要求6所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，還包含一密閉腔體，其中該承載座、該光罩以及該閃爍光源位于該密閉腔體內。

10.根據權利要求9所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，該密閉腔體內為真空狀態。

11.根據權利要求9所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，該密閉腔體內包含氮氣。

12.根據權利要求9所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，還包含：

一氣體導入模塊，連通該密閉腔體，用以導入至少一氣體進入該密閉腔體；以及

一氣體監控模塊，設置于該密閉腔體內，用以監控該密閉腔體內的該至少一氣體的一含量以及一比例。

13.根據權利要求9所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，還包含一溫度量測器，該溫度量測器設置于該密閉腔體內，用以量測該密閉腔體內的一溫度。

14.根據權利要求9所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，還包含一光強度量測器，該光強度量測器設置于該密閉腔體內，并設置于該光罩面向該閃爍光源的一側，用以量測該閃爍光源照射至該光罩的一光強度。

15.根據權利要求9所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，該密閉腔體具有一裝載端口，該有機發光二極管制造設備還包含一運送模塊設置于該密閉腔體內，用以將該基板由該密閉腔體外通過該裝載端口運送至該承載座上，或將該基板由該承載座通過該裝載端口運送至該密閉腔體外。

16.根據權利要求6所述的有機發光二極管制造設備，其特征在于，還包含一自動光學檢測模塊，該自動光學檢測模塊設置于該密閉腔體內，用以檢測 被氣化或燒結的所述多個發光材料。