[發明專利]有機發光二極管制造方法及有機發光二極管制造設備

在審

• 申請號: 201610565279.7
• 申請日: 2016-07-18
• 公開（公告）號: CN107634152A
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 劉振宇;林熙乾;林建宏;劉正平;柯山文
• 申請（專利權）人: 宸鴻光電科技股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國

技術領域

本發明是有關于一種有機發光二極管制造方法以及有機發光二極管制造設備。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)顯示器又稱為有機電激發光(Organic Electro-Luminescent,OEL)顯示器，它除兼具發光二極管的主動發光、高應答速度特性，以及液晶顯示器的省電、輕薄等優點外，兼具有制程簡單低成本、可應用于撓曲性面板等特色，由于其優異的特性，被視為最理想的顯示器之一。

目前制作有機發光二極管全彩技術中，最為成熟且最有機會量產的就屬像素并置法(separate RGB pixel)。此制程方法為利用精密光罩(tension mask)做遮蔽，進而分別蒸鍍上R、G、B等三種顏色的發光材料。然而，由于精密光罩在遮蔽的過程中會因為蒸鍍的材料附著而發生彎曲變形的狀況，使得遮蔽效果不佳。另外，此種精密光罩使用的材質為金屬，容易產生機械加工精度不足以及對位精準度不夠等問題。上述因素都會導致相鄰兩個不同顏色的發光材料重疊在一起，形成所謂的色偏差現象。

發明內容

有鑒于此，本發明的一目的在于提出一種可有效解決上述問題的有機發光二極管制造方法以及有機發光二極管制造設備。

為了達到上述目的，依據本發明的一實施方式，一種有機發光二極管制造方法包含：提供基板，其中基板上形成有多個發光材料；放置光罩于基板上方，其中光罩具有多個開口區；以及以閃爍光源經由開口區對發光材料進行照射，進而使得發光材料中的至少兩相鄰者之間的接觸部分被氣化或燒結。其中，閃爍光源為一在短時間內可以連續或是間歇的發射出高能量的光，使得發光材料 在吸收該高能量的光后便提高溫度。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的發光材料中的至少兩相鄰者之間具有重疊區域。有機發光二極管制造方法還包含：將光罩與基板進行對位，使得開口區的其中之一于基板上的正投影至少涵蓋重疊區域。

于本發明的一或多個實施方式中，上述以閃爍光源經由開口區對發光材料進行照射的步驟，是使得發光材料位于開口區的正投影內的部分被氣化或燒結。其中，由于發光材料于短時間內吸收來自閃爍光源的能量，使得發光材料在很短的時間內提升溫度，甚至超過本身的氣化溫度或燒結溫度，進而被氣化或燒結。

于本發明的一或多個實施方式中，上述以閃爍光源經由開口區對發光材料進行照射的步驟，是在真空環境下進行。

于本發明的一或多個實施方式中，上述以閃爍光源經由開口區對發光材料進行照射的步驟，是在氮氣環境下進行。

為了達到上述目的，依據本發明的另一實施方式，一種有機發光二極管制造設備包含承載座、光罩以及閃爍光源。承載座用以承載基板，其中基板上形成有多個發光材料。光罩設置于基板上方，其中光罩具有多個開口區。閃爍光源設置于光罩上方，用以經由開口區對發光材料進行照射，進而使得發光材料中的至少兩相鄰者之間的接觸部分被氣化或燒結。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的發光材料中的至少兩相鄰者之間具有重疊區域。有機發光二極管制造設備還包含基板對位模塊。基板對位模塊操作性連接承載座，用以使基板與光罩對位，使得開口區其中之一于基板上的正投影涵蓋上述的重疊區域。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的發光材料中的至少兩相鄰者之間具有重疊區域。有機發光二極管制造設備還包含光罩對位模塊。光罩對位模塊用以使光罩與承載座對位，使得開口區其中之一于基板上的正投影涵蓋上述的重疊區域。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的有機發光二極管制造設備還包含密閉腔體。承載座、光罩以及閃爍光源位于密閉腔體內。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的密閉腔體內為真空狀態。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的密閉腔體內包含氮氣。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的有機發光二極管制造設備還包含氣體導入模塊以及氣體監控模塊。氣體導入模塊連通密閉腔體，用以導入至少一氣體進入密閉腔體。氣體監控模塊設置于密閉腔體內，用以監控密閉腔體內的至少一氣體的含量以及比例。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的有機發光二極管制造設備還包含溫度量測器。溫度量測器設置于密閉腔體內，用以量測密閉腔體內的溫度。

于本發明的一或多個實施方式中，上述的有機發光二極管制造設備還包含光強度量測器。光強度量測器設置于密閉腔體內，并設置于光罩面向閃爍光源的一側，用以量測閃爍光源照射至光罩的光強度。