[發明專利]有源矩陣顯示基板的退火方法及裝置有效
| 申請號： | 201610557140.8 | 申請日： | 2016-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN106129271B | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發明（設計）人： | 張豪峰;王春盼;陳建榮;任思雨;蘇君海;李建華 | 申請（專利權）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/56 | 分類號： | H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司44202 | 代理人： | 章蘭芳 |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 有源 矩陣 顯示 退火 方法 裝置 | ||
1.一種有源矩陣顯示基板的退火裝置，其特征在于，包括：
加熱裝置，用于在有源矩陣顯示基板制程中提供合適的溫度；
設置在所述加熱裝置外側的螺旋狀交頻熱阻器，用于在有源矩陣顯示基板的退火處理過程中，在有源矩陣顯示基板的膜層結構上形成交變的磁場；
設置在所述螺旋狀交頻熱阻器外側的螺旋狀直流熱阻器，用于在有源矩陣顯示基板的退火處理過程中，提高或維持加熱裝置腔室所需的熱量；
供電裝置，用于向所述螺旋狀交頻熱阻器和所述螺旋狀直流熱阻器提供電源。
2.如權利要求1所述的有源矩陣顯示基板的退火裝置，其特征在于，所述螺旋狀交頻熱阻器包括：分別設置在有源矩陣顯示基板上表面和下表面的螺旋狀交頻電阻層；每層電阻層包括多個平行分布的螺旋狀的電阻器。
3.如權利要求1所述的有源矩陣顯示基板的退火裝置，其特征在于，所述螺旋狀直流熱阻器包括：圍繞所述加熱裝置的依次排列分布的多個螺旋狀的電阻器。
4.一種有源矩陣顯示基板的退火方法，其特征在于，包括：
通過加熱裝置在有源矩陣顯示基板制程中提供合適的溫度；
在所述加熱裝置外側設置螺旋狀交頻熱阻器，并通過向所述螺旋狀交頻熱阻器提供電源，使得在有源矩陣顯示基板的退火處理過程中，在有源矩陣顯示基板的膜層結構上形成交變的磁場；
在所述螺旋狀交頻熱阻器外側設置螺旋狀直流熱阻器，通過向所述螺旋狀直流熱阻器提供電源，在有源矩陣顯示基板的退火處理過程中，提高或維持加熱裝置腔室所需的熱量。
5.如權利要求4所述的有源矩陣顯示基板的退火方法，其特征在于，在所述加熱裝置外側設置螺旋狀交頻熱阻器，具體包括：
分別在有源矩陣顯示基板上表面和下表面設置螺旋狀交頻電阻層；每層電阻層包括多個平行分布的螺旋狀的電阻器。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
