[發明專利]氣浮載臺

有效

• 申請號: 201610548069.7
• 申請日: 2016-07-13
• 公開（公告）號: CN107462269B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 祁樹泰
• 申請（專利權）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

本發明提供一種氣浮載臺，至少包括底層以及頂層。底層具有第一開口、多個第一通道以及多個通孔。頂層配置在底層上方，并具有排列成陣列的多個第一氣孔以及多個第二氣孔。第一開口經由第一通道連通至第一氣孔，以構成第一氣流路徑。通孔對應連通至第二氣孔，以構成第二氣流路徑。氣流經由第一氣流路徑與第二氣流路徑的其中一個從底層流至頂層外側，或經由第一氣流路徑與第二氣流路徑的另一個從頂層流至底層外側。本發明的氣浮載臺適于提供氣流承載基板，并使基板維持水平效果。

技術領域

本發明涉及一種用于檢測的載臺，尤其涉及一種用于檢測的氣浮載臺。

背景技術

近年來，隨著科技產業日益發達，電子產品已頻繁地出現在日常生活中。其中，電子產品所用零件的精密度也為主要考量點。因此，相關的檢測儀器便相應產生。舉例而言，用于檢測基板(例如玻璃)或其他待檢測物品的檢測儀器通常需配置有載臺，以將基板配置在載臺上進行相關檢測。然而，若將基板直接放置在載臺上使其直接接觸，則基板容易造成損傷。因此，目前部分做法是將載臺制作成氣浮載臺，使基板懸浮在其上。

更進一步地說，所述氣浮載臺適于提供氣流用于承載基板或其他待檢測物品。其中，氣浮載臺的進氣口連接至供氣裝置。供氣裝置提供的氣流從進氣口進入氣浮載臺內部的氣室或氣流路徑，并從出氣口流出，使基板通過流出出氣口的氣流懸浮在氣浮載臺上。然而，從出氣口流出的氣流容易累積在氣浮載臺與基板之間，且特別是位在氣浮載臺中間部位的氣流被外側部位的氣流包圍而不易自發性散逸至外界。如此，氣浮載臺中間部位的氣流累積造成基板中間部位鼓起，進而使基板難以維持水平效果來進行精密檢測。

發明內容

本發明提供一種氣浮載臺，其適于提供氣流承載基板，并使基板維持水平效果，以利進行精密的檢測。

本發明的氣浮載臺至少包括底層以及頂層。底層具有第一開口、多個第一通道以及多個通孔。頂層配置在底層上方，并具有排列成陣列的多個第一氣孔以及多個第二氣孔。第一開口經由第一通道連通至第一氣孔，以構成第一氣流路徑。通孔對應連通至第二氣孔，以構成第二氣流路徑。氣流經由第一氣流路徑與第二氣流路徑的其中一個從底層流至頂層外側，或經由第一氣流路徑與第二氣流路徑的另一個從頂層流至底層外側。

基于上述，本發明的氣浮載臺由彼此疊置的底層與頂層構成，且設置有由第一開口、第一通道與第一氣孔彼此連通所構成的第一氣流路徑以及由通孔與第二氣孔彼此連通所構成的第二氣流路徑，使得氣流適于經由兩氣流路徑的其中一個從底層流至頂層外側，或經由兩氣流路徑的另一個從頂層流至底層外側，例如通過供氣裝置將氣流經由第一氣流路徑從底層流至頂層外側以承載基板，而氣浮載臺與基板之間的多余氣流經由第二氣流路徑從頂層自然散逸至底層外側。藉此，本發明的氣浮載臺適于提供氣流承載基板，并使基板維持水平效果，以利進行精密的檢測。

為讓本發明的上述特征和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖作詳細說明如下。

附圖說明

圖1是依照本發明的一實施例的氣浮載臺的示意圖；

圖2是圖1的底層的俯視示意圖；

圖3是圖1的頂層的俯視示意圖；

圖4是依照本發明的另一實施例的氣浮載臺的示意圖；

圖5是圖4的底層的俯視示意圖；

圖6是圖4的中層的俯視示意圖；

圖7是圖4的頂層的俯視示意圖。

附圖標記：

100、100a：氣浮載臺

110：底層

112：第一開口

114：第二開口

116：第一通道