[發明專利]氣浮載臺

有效

• 申請號: 201610548069.7
• 申請日: 2016-07-13
• 公開（公告）號: CN107462269B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 祁樹泰
• 申請（專利權）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

1.一種氣浮載臺，其特征在于，包括：

底層，具有第一開口、多個第一通道以及多個通孔；以及

頂層，配置在所述底層上方，并具有排列成陣列的多個第一氣孔以及多個第二氣孔，所述第一開口經由所述多個第一通道連通至所述多個第一氣孔，以構成第一氣流路徑，所述多個通孔對應連通至所述多個第二氣孔，以構成第二氣流路徑，氣流適于經由所述第一氣流路徑與所述第二氣流路徑的其中一個從所述底層流至所述頂層外側，且氣流也適于經由所述第一氣流路徑與所述第二氣流路徑的另一個從所述頂層流至所述底層外側；

其中所述第一氣流路徑與所述第二氣流路徑分別具有2ⁿ個左右對稱的子氣流路徑，n為大于2的正整數，且各所述子氣流路徑的長度皆為相等；

其中所述多個第二氣孔的每一個被所述多個第一氣孔的其中四個包圍以形成一個氣孔單元；

其中每一個所述氣孔單元和相鄰的所述氣孔單元不共享所述多個第一氣孔與所述多個第二氣孔。

2.根據權利要求1所述的氣浮載臺，其特征在于，所述第一氣流路徑與所述第二氣流路徑彼此錯開。

3.根據權利要求1所述的氣浮載臺，其特征在于，任兩相鄰的所述多個第二氣孔對應被兩排所述多個第一氣孔分隔。

4.根據權利要求1所述的氣浮載臺，其特征在于，所述多個第一氣孔與所述多個第二氣孔位在所述陣列中的不同行列而彼此錯開。

5.根據權利要求1所述的氣浮載臺，其特征在于，所述多個第二氣孔對應排列在所述陣列中的第3i-1列與第3j-1行的交集，而所述多個第一氣孔對應排列在所述陣列中的第3i-2列、第3i列、第3j-2行與第3j行的交集，i與j分別為正整數的集合。

6.根據權利要求1所述的氣浮載臺，其特征在于，還包括中層，配置在所述底層及所述頂層之間，其中所述底層具有第二開口，所述中層具有多個第一連接孔、第二連接孔以及多個第二通道，所述第一開口經由所述多個第一通道與所述多個第一連接孔連通至所述多個第一氣孔，而所述第二開口經由所述第二連接孔與所述多個第二通道連通至所述多個第二氣孔。

7.根據權利要求6所述的氣浮載臺，其特征在于，所述第一開口經由所述多個第一通道與所述多個第一連接孔至對應的所述多個第一氣孔的長度相等，且所述第二開口經由所述第二連接孔與所述多個第二通道至對應的所述多個第二氣孔的長度相等。

8.根據權利要求6所述的氣浮載臺，其特征在于，所述多個第一通道包括多個第一區段與多個末段，所述多個第一區段與對應的所述多個末段彼此連接且垂直排列，且所述多個第一區段通過對應的所述多個末段以及對應的所述多個第一連接孔連接至對應的所述多個第一氣孔，所述多個第二通道包括多個第二區段，所述多個第二區段彼此連接且垂直排列，且所述多個第二區段連接至對應的所述多個第二氣孔。

9.根據權利要求8所述的氣浮載臺，其特征在于，所述多個第一區段與所述多個第二區段在垂直方向上彼此對應，且所述多個第一區段與所述多個第二區段在所述垂直方向上的正投影彼此重疊。

10.根據權利要求8所述的氣浮載臺，其特征在于，所述多個第一通道還包括多個轉折段，所述多個第一區段通過對應的所述多個轉折段連接至對應的所述多個末段，而所述多個通孔在垂直方向上對應于所述多個轉折段，且所述多個轉折段繞過對應的所述多個通孔。