[發明專利]一種多個勻膠單元的排廢系統

有效

• 申請號: 201610548002.3
• 申請日: 2016-07-12
• 公開（公告）號: CN107608180B
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 高曉旭
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B05C11/10
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

本發明屬于涂膠與光刻膠工藝的排廢領域，具體地說是一種多個勻膠單元的排廢系統，勻膠單元為多個、均布于主體安裝板上，每個勻膠單元外均設有收集杯，集液盒位于各勻膠單元的一側，各勻膠單元的背噴排廢口、去邊排廢口以及各收集杯的排廢口分別與集液盒密封連接，集液盒的一端通過清洗管路與設備廠務口集中供應的清洗液相連通，并在清洗管路上設有控制清洗管路通斷的氣動藥液閥，集液盒的另一端與排廢盒相連通，排廢盒上安裝有實時監測排廢盒內部廢液液位的液位傳感器，排廢盒的出口處連接有氣控隔膜泵，排廢盒內的廢液液位觸發液位傳感器后通過氣控隔膜泵排出。本發明可以防止廢液飛濺，及時將廢液排出，并能對排廢盒中沉積的廢液有效清潔。

技術領域

本發明屬于涂膠與光刻膠工藝的排廢領域，具體地說是一種多個勻膠單元的排廢系統。

背景技術

目前，市場上TRACK(涂膠顯影機)機臺與光刻機聯機運行時，存在TRACK產能不足的問題，從而大大降低了光刻工藝的效率。為了滿足產能的要求，TRACK單元設計多考慮采用多單元布局在一個設備腔體內，采取集中供液、排廢、排風的方式優化機臺布局；而一個單元模塊無論采用集中排廢還是每個spin(勻膠單元)單獨排廢勢必因水平流動距離過長以及排廢管道的殘膠凝結而出現排廢積液不暢的問題，如果單元內化學品廢液不能及時排走就會導致揮發，導致整個內環境發生變化影響后續的工藝，出現這種后果對客戶是致命的。

發明內容

為了解決因廢液的凝結或管路不暢導致的積液和漏液問題，本發明的目的在于提供一種多個勻膠單元的排廢系統。該排廢系統通過觸發液位傳感器，及時啟動隔膜泵將廢液排除，并能對排廢盒中沉積的廢液有效地清潔，保證管路通暢及單元勻膠工藝的穩定性。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發明包括主體安裝板及分別安裝在主體安裝板上的勻膠單元、集液盒、排廢盒、氣控隔膜泵，其中勻膠單元為多個、均布于所述主體安裝板上，每個所述勻膠單元外均設有收集杯，所述集液盒位于各勻膠單元的一側，各所述勻膠單元的背噴排廢口、去邊排廢口以及各所述收集杯的排廢口分別與集液盒密封連接，所述集液盒的一端通過清洗管路與設備廠務口集中供應的清洗液相連通，并在該清洗管路上設有控制清洗管路通斷的氣動藥液閥，所述集液盒的另一端與排廢盒相連通，該排廢盒上安裝有實時監測排廢盒內部廢液液位的液位傳感器，所述排廢盒的出口處連接有氣控隔膜泵，該排廢盒內的廢液液位觸發液位傳感器后通過所述氣控隔膜泵排出。

其中：所述集液盒沿主體安裝板的長度方向、由連接清洗液的一端向連接排廢盒的另一端向下傾斜地安裝在主體安裝板上；各所述勻膠單元的背噴排廢口及去邊排廢口通過卡套接頭與集液盒密封連接，各所述勻膠單元的收集杯的排廢口通過密封墊及密封固定塊與集液盒密封連接；所述密封固定塊安裝在集液盒上，該密封固定塊與集液盒之間設有所述密封墊，所述收集杯的排廢口穿過密封固定塊、密封墊，插入所述集液盒中；所述集液盒的另一端通過密封法蘭連接到排廢盒上，該排廢盒的出口處為內腔的最低點；所述勻膠單元、收集杯、集液盒、排廢盒及氣控隔膜泵組成了防止廢液飛濺并及時將廢液從勻膠單元內排出的導流內腔。

本發明的優點與積極效果為：

1.本發明通過勻膠單元、收集杯、集液盒、排廢盒、氣動隔膜泵組成一個導流內腔，可以防止廢液飛濺并及時將廢液從單元內排出。

2.本發明通過安裝在排廢盒上的液位傳感器實時監測廢液液位，當達到設定液位便觸發排廢盒出口處的氣動隔膜泵，將單元內廢液及時排出。

3.本發明通過安裝在集液盒一端的清洗管路引入一路清洗液，清洗液由設備廠務口集中供液，并通過氣控藥液閥控制清洗管路的通斷，實現定時清潔維護排廢管路的目的，保證管路通暢及單元勻膠工藝的穩定性。

4.本發明的集液盒沿主體安裝板長度方向傾斜安裝，每個勻膠單元的去邊排廢口、背噴排廢口及各收集杯的排廢口均集中匯集到集液盒上，有助于廢液的流動與集中處理。