[發(fā)明專利]一種多個(gè)勻膠單元的排廢系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610548002.3
• 申請(qǐng)日: 2016-07-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107608180B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高曉旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;B05C11/10
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種多個(gè)勻膠單元的排廢系統(tǒng)，其特征在于：包括主體安裝板(10)及分別安裝在主體安裝板(10)上的勻膠單元(1)、集液盒(3)、排廢盒(4)、氣控隔膜泵(6)，其中勻膠單元(1)為多個(gè)、均布于所述主體安裝板(10)上，每個(gè)所述勻膠單元(1)外均設(shè)有收集杯(2)，所述集液盒(3)位于各勻膠單元(1)的一側(cè)，各所述勻膠單元(1)的背噴排廢口、去邊排廢口以及各所述收集杯(2)的排廢口分別與集液盒(3)密封連接，所述集液盒(3)的一端通過(guò)清洗管路與設(shè)備廠務(wù)口集中供應(yīng)的清洗液相連通，并在該清洗管路上設(shè)有控制清洗管路通斷的氣動(dòng)藥液閥(7)，所述集液盒(3)的另一端與排廢盒(4)相連通，該排廢盒(4)上安裝有實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)排廢盒(4)內(nèi)部廢液液位的液位傳感器(5)，所述排廢盒(4)的出口處連接有氣控隔膜泵(6)，該排廢盒(4)內(nèi)的廢液液位觸發(fā)液位傳感器(5)后通過(guò)所述氣控隔膜泵(6)排出；

各所述勻膠單元(1)的背噴排廢口及去邊排廢口通過(guò)卡套接頭與集液盒(3)密封連接，各所述勻膠單元(1)的收集杯(2)的排廢口通過(guò)密封墊(8)及密封固定塊(9)與集液盒(3)密封連接，所述收集杯(2)可自由取下；

所述密封固定塊(9)安裝在集液盒(3)上，該密封固定塊(9)與集液盒(3)之間設(shè)有所述密封墊(8)，所述收集杯(2)的排廢口穿過(guò)密封固定塊(9)、密封墊(8)，插入所述集液盒(3)中。

2.按權(quán)利要求1所述多個(gè)勻膠單元的排廢系統(tǒng)，其特征在于：所述集液盒(3)沿主體安裝板(10)的長(zhǎng)度方向、由連接清洗液的一端向連接排廢盒(4)的另一端向下傾斜地安裝在主體安裝板(10)上。

3.按權(quán)利要求1所述多個(gè)勻膠單元的排廢系統(tǒng)，其特征在于：所述集液盒(3)的另一端通過(guò)密封法蘭連接到排廢盒(4)上，該排廢盒(4)的出口處為內(nèi)腔的最低點(diǎn)。

4.按權(quán)利要求1所述多個(gè)勻膠單元的排廢系統(tǒng)，其特征在于：所述勻膠單元(1)、收集杯(2)、集液盒(3)、排廢盒(4)及氣控隔膜泵(6)組成了防止廢液飛濺并及時(shí)將廢液從勻膠單元(1)內(nèi)排出的導(dǎo)流內(nèi)腔。