[發(fā)明專利]芯片分揀和包裝平臺在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610544204.0 | 申請日: | 2016-07-12 |
| 公開(公告)號: | CN107611053A | 公開(公告)日: | 2018-01-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 周磊;張丹丹;魯異;曾慶龍 | 申請(專利權(quán))人: | 泰科電子(上海)有限公司;泰連公司;深圳市深立精機(jī)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;B65B15/04 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司11021 | 代理人: | 趙榮崗 |
| 地址: | 200131 上海市浦東新區(qū)中國(上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 分揀 包裝 平臺 | ||
1.一種芯片分揀和包裝平臺,其特征在于,包括:
供應(yīng)模塊,適于供應(yīng)芯片;
分揀模塊,用于拾取由所述供應(yīng)模塊供應(yīng)的芯片,并對拾取的芯片進(jìn)行檢測以判斷拾取的芯片是否合格;和
包裝模塊,用于包裝由所述分揀模塊分揀出的合格的芯片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于,所述分揀模塊包括:
第一旋轉(zhuǎn)臺(30);
拾取裝置(20),適于拾取由所述供應(yīng)模塊供應(yīng)的芯片,并將拾取的芯片安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上;和
第一視覺檢測器(41、42),適于檢測安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上的芯片的缺陷。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于:
所述分揀模塊還包括電阻檢測器(50),適于檢測安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上的芯片的電阻。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于:
在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上設(shè)置有適于固定所述芯片的多個夾具,所述多個夾具圍繞所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)的旋轉(zhuǎn)軸線間隔地分布在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上;
所述拾取裝置(20)包括轉(zhuǎn)盤(21)和間隔地分布在所述轉(zhuǎn)盤(21)的四周的多個吸嘴(22),所述多個吸嘴(22)從所述供應(yīng)模塊吸取芯片,并將吸取的芯片分別安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)的所述多個夾具上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于:
所述第一視覺檢測器(41、42)包括位于所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)的上方的相互分隔開的第一攝像機(jī)(41)和第二攝像機(jī)(42);
所述第一攝像機(jī)(41)和所述第二攝像機(jī)(42)適于分別檢測安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上的芯片的頂部的不同缺陷。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于:
所述第一攝像機(jī)(41)適于檢測安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上的芯片的頂部上的刮痕和/或污物;
所述第二攝像機(jī)(42)適于檢測安裝在所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上的芯片的頂部上的焊點(diǎn)缺陷。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于,所述分揀模塊還包括:
第二旋轉(zhuǎn)臺(60),在所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)的周邊上間隔地設(shè)置有多個吸取裝置(63),用于從所述第一旋轉(zhuǎn)臺(30)上吸取已經(jīng)被第一視覺檢測器(41、42)和電阻檢測器檢測過的芯片;和
第二視覺檢測器(61、62),適于檢測被所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)上的吸取裝置(63)吸取住的芯片的尺寸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于:
所述第二視覺檢測器(61、62)包括位于所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)的周邊的相互分隔開的第三攝像機(jī)(61)和第四攝像機(jī)(62);
所述第三攝像機(jī)(61)和所述第四攝像機(jī)(62)適于分別檢測被所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)上的吸取裝置(63)吸取住的芯片的不同側(cè)部的尺寸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于:
所述第三攝像機(jī)(61)和所述第四攝像機(jī)(62)的光軸沿所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)的徑向延伸;
當(dāng)所述芯片剛被所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)上的吸取裝置(63)吸取住時,所述芯片的第一側(cè)部沿所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)的徑向朝外,以便通過所述第三攝像機(jī)(61)檢測所述芯片的第一側(cè)部的尺寸;
所述分揀模塊還包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(70),在所述芯片已經(jīng)被所述第三攝像機(jī)(61)檢測過之后,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(70)旋轉(zhuǎn)所述芯片的方位,使得所述芯片的第二側(cè)部面沿所述第二旋轉(zhuǎn)臺(60)的徑向朝外,以便通過所述第四攝像機(jī)(62)檢測所述芯片的第二側(cè)部的尺寸。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的芯片分揀和包裝平臺,其特征在于,所述包裝模塊包括:
第一帶輪(81),適于供應(yīng)具有凹腔部的第一包裝帶(811),已被所述分揀模塊檢測過的合格的芯片被容納在所述第一包裝帶(811)的凹腔部中;
第二帶輪(82),適于供應(yīng)第二包裝帶,所述第二包裝帶適于將所述合格的芯片封裝在所述第一包裝帶(811)的凹腔部中;和
第三帶輪(83),適于回收已包裝有所述合格的芯片的第一包裝帶和第二包裝帶。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





