[發明專利]一種鉬鋁鉬蝕刻液

在審

• 申請號: 201610539322.2
• 申請日: 2016-07-08
• 公開（公告）號: CN107587135A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 康威;鄢艷華;尹靜雅;陳昊
• 申請（專利權）人: 深圳新宙邦科技股份有限公司
• 主分類號: C23F1/26
• 分類號: C23F1/26;C23F1/20
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務所44275
• 代理人: 張明

技術領域

本發明涉及化學蝕刻技術，特別涉及一種鉬鋁鉬蝕刻液。

背景技術

現有技術中，鉬鋁鉬蝕刻液主要由硝酸、磷酸和醋酸組成，并且磷酸在蝕刻液中所占比例較高。鉬鋁鉬蝕刻液已廣泛應用于薄膜場效應晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)、發光二極管(LED)和有機發光二極管(OLED)等行業，具體用于制作面板過程中鉬層和鋁層的蝕刻中。傳統技術配方在蝕刻強度、蝕刻角度及金屬腐蝕性等方面表現出較好蝕刻性能。然而，現有的蝕刻液粘度較高，流動性差，易引發局部刻蝕不均勻等問題。同時，蝕刻液成本也較高。

專利號為201110420806.2的中國發明專利公開了一種新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液，并具體公開了所述鉬鋁鉬蝕刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、陽離子表面活性劑、金屬硝酸鹽和純水，所述鉬鋁鉬蝕刻液的原料重量百分比分別為：磷酸60％～75％、醋酸5％～15％、硝酸1％～10％、金屬硝酸鹽0.1％～2％、陽離子表面活性劑0.001％～0.5％、其余為純水。上述專利公開的鉬鋁鉬蝕刻液存在蝕刻液整體粘度大、流動性低、易引發局部刻蝕不均勻以及成本較高的問題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種粘度低、腐蝕性低、蝕刻效果好、低成本的鉬鋁鉬蝕刻液。

為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案為：

一種鉬鋁鉬蝕刻液，以鉬鋁鉬蝕刻液的總重量為基準，包括：磷酸35-45％、硝酸1-3％、冰醋酸8-12％、添加劑0.5-1.0％和去離子水39-55.5％；所述添加劑包括有機多元膦酸類物質、胺類物質和鹽類物質。

本發明的有益效果在于：

(1)本發明的鉬鋁鉬蝕刻液中，通過上述含量范圍內的各組分的相互配合，可保證鉬鋁鉬蝕刻液的蝕刻效果，并且其整體粘度低，可由16.32mpa·s降低至3.87mpa·s(20℃)，可減小因粘度過高而造成的局部蝕刻不均勻的可能性；

(2)同時，在特定含量的磷酸、硝酸、冰醋酸存在的前提下，加入上述含量的添加劑可有效保證蝕刻效果，且從一定程度上降低成本，同時能確保其具有優良的蝕刻角度、蝕刻量以及蝕刻后無殘留和金屬腐蝕性低等性能，實現能夠實現高效、精準的蝕刻；

(3)可大大降低產品成本，并且，本發明的鉬鋁鉬蝕刻液對金屬層無腐蝕。

附圖說明

圖1為本發明的鉬鋁鉬蝕刻液的SEM效果圖；

圖2為圖1的SEM效果圖的局部放大圖；

圖3為現有技術的鉬鋁鉬蝕刻液的SEM效果圖；

圖4為圖3的SEM效果圖的局部放大圖；

圖5為本發明的鉬鋁鉬蝕刻液與現有技術的鉬鋁鉬蝕刻液剛溶解Al粉后的實驗效果對比圖；

圖6為本發明的鉬鋁鉬蝕刻液與現有技術的鉬鋁鉬蝕刻液充分溶解Al粉后的實驗效果對比圖；

圖7為本發明的未添加所述添加劑的鉬鋁鉬蝕刻液與現有技術的鉬鋁鉬蝕刻液溶解Al粉后的實驗效果對比圖。

具體實施方式

為詳細說明本發明的技術內容、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖予以說明。

本發明最關鍵的構思在于:降低磷酸含量，引入了包括有機多元膦酸類物質和鹽類物質的添加劑，從而減少因磷酸帶來的蝕刻不均勻問題并保持蝕刻性能。

請參照圖1以及圖2，一種鉬鋁鉬蝕刻液，以鉬鋁鉬蝕刻液的總重量為基準，包括：磷酸35-45％、硝酸1-3％、冰醋酸8-12％、添加劑0.5-1.0％和去離子水39-55.5％；所述添加劑包括有機多元膦酸類物質、胺類物質和鹽類物質。

上述組分配比的鉬鋁鉬蝕刻液，硝酸提供H₃O⁺，作為主蝕刻藥液，起到氧化作用；磷酸提供磷酸根，與氧化的金屬形成絡合物從而溶解金屬氧化物；冰醋酸可附著于反應物表面，降低蝕刻液黏度以提高其浸潤性和調整蝕刻速率；添加劑一方面可在水中可電離出氫離子，電離后形成配位氧原子，可以和Al³⁺形成穩定的螯合物，另一方面可以有效的調節蝕刻速率，彌補因磷酸含量降低造成的影響。

本發明通過上述原料及配比的設計，能滿足客戶要求蝕刻角度和蝕刻量，提高產品優良率，確保優良的蝕刻性能；同時大幅度降低磷酸含量，降低因磷酸濃度過大而使蝕刻液整體粘度變大，流動性降低，從而導致產生局部刻蝕不均的問題。

從上述描述可知，本發明的有益效果在于：