[發明專利]一種鉬鋁鉬蝕刻液在審
| 申請號： | 201610539322.2 | 申請日： | 2016-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN107587135A | 公開（公告）日： | 2018-01-16 |
| 發明（設計）人： | 康威;鄢艷華;尹靜雅;陳昊 | 申請（專利權）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/26 | 分類號： | C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 深圳市博銳專利事務所44275 | 代理人： | 張明 |
| 地址： | 518000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鉬鋁鉬 蝕刻 | ||
1.一種鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，以鉬鋁鉬蝕刻液的總重量為基準，包括：磷酸35-45％、硝酸1-3％、冰醋酸8-12％、添加劑0.5-1.0％和去離子水39-55.5％；所述添加劑包括有機多元膦酸類物質、胺類物質和鹽類物質。
2.根據權利要求1所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，以鉬鋁鉬蝕刻液的總重量為基準，有機多元膦酸類物質和胺類物質總含量為0.35-0.7％，鹽類物質含量為0.15-0.3％。
3.根據權利要求2所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，以鉬鋁鉬蝕刻液的總重量為基準，有機多元膦酸含量為0.3-0.6％，胺類物質含量為0.05-0.1％。
4.根據權利要求1-3中任意一項所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述有機多元膦酸類物質選自羥基亞乙基-1,1-二膦酸、氨基三亞甲基膦酸、二乙烯三胺五亞甲基膦酸、三乙烯四胺六亞甲基膦酸、雙(1,6-亞己基)三胺亞甲基膦酸、多氨基多醚基四亞甲基膦酸或乙二胺四甲叉膦酸中的至少一種。
5.根據權利要求1-3中任意一項所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述胺類物質為三乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二甲基甲酰胺或N,N-二甲基乙酰胺中的至少一種。
6.根據權利要求1-3中任意一項所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述鹽類物質為乙酸鈉鹽。
7.根據權利要求6所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述鹽類物質為氮川三乙酸三鈉、二乙基三胺五乙酸五鈉、羥乙基二胺四乙酸三鈉或乙二胺四乙酸二鈉中的至少一種。
8.根據權利要求1-3中任意一項所述的鉬鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述鉬鋁鉬蝕刻液的粘度為3.87mpa·s以下。
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