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[發明專利]生長多晶硅柵過分刻蝕的P型MOS管結構的方法在審

專利信息
申請號: 201610538707.7 申請日: 2016-07-08
公開(公告)號: CN106169505A 公開(公告)日: 2016-11-30
發明(設計)人: 呂耀安 申請(專利權)人: 無錫宏納科技有限公司
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336
代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228 代理人: 聶漢欽
地址: 214000 江蘇省無錫市新區清源路*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 生長 多晶 過分 刻蝕 mos 結構 方法
【權利要求書】:
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