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[發明專利]一種基于掃描電子顯微鏡的原位高溫壓痕測試系統在審

專利信息
申請號: 201610522131.5 申請日: 2016-07-05
公開(公告)號: CN105928812A 公開(公告)日: 2016-09-07
發明(設計)人: 張躍飛;王晉;趙波慧 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: G01N3/54 分類號: G01N3/54;G01N3/06
代理公司: 北京高沃律師事務所 11569 代理人: 李娜
地址: 100000 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 掃描 電子顯微鏡 原位 高溫 壓痕 測試 系統
【說明書】:
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