[發明專利]一種基于掃描電子顯微鏡的原位高溫壓痕測試系統在審
| 申請號： | 201610522131.5 | 申請日： | 2016-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN105928812A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 張躍飛;王晉;趙波慧 | 申請（專利權）人： | 北京工業大學 |
| 主分類號： | G01N3/54 | 分類號： | G01N3/54;G01N3/06 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100000 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 掃描 電子顯微鏡 原位 高溫 壓痕 測試 系統 | ||
【權利要求書】：
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