[發(fā)明專利]一種光刻膠剝離液

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610506315.2
• 申請日: 2016-06-29
• 公開（公告）號: CN107544215A
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄢艷華;康威;尹靜雅;陳昊
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳新宙邦科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務(wù)所44275
• 代理人: 張明

1.一種光刻膠剝離液，其特征在于，包括有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑和添加劑；

所述添加劑選自8-羥基喹啉、油酸三乙醇胺脂、天門冬氨酸三乙醇胺鹽或烷醇酰胺中的至少一種；

所述光刻膠剝離液中，所述有機(jī)胺化合物的重量百分比含量為15-30％，所述有機(jī)溶劑的重量百分比含量為70-85％，所述添加劑的重量百分比含量為0.1-0.5％；且所述光刻膠剝離液中，各組分的總含量為100％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)胺化合物選自烷基胺類化合物、亞烷基胺類化合物或氮唑類化合物中的至少一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)胺化合物選自1,4-二甲基-1H-咪唑、7-氨基吲唑、5-氨基四唑、1-氨基-4-甲基哌嗪、丙醇胺、異丙醇胺或乙醇胺中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)溶劑選自二乙二醇單甲醚，二乙二醇單丁醚、二乙二醇叔丁基醚或二乙二醇乙醚中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述光刻膠剝離液的結(jié)晶溫度小于15℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機(jī)胺化合物選自1,4-二甲基-1H-咪唑、7-氨基吲唑、5-氨基四唑、1-氨基-4-甲基哌嗪、丙醇胺、異丙醇胺或乙醇胺中的至少一種；

所述有機(jī)溶劑選自二乙二醇單甲醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇叔丁基醚或二乙二醇乙醚中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述光刻膠剝離液中還含有水。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述光刻膠剝離液由有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑、添加劑和水組成。