[發明專利]硅片批次管理方法及系統在審
| 申請號： | 201610498407.0 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN106056464A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 馬蘭濤;陳毅俊;朱駿 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06Q50/04 | 分類號： | G06Q50/04;H01L21/673;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 批次 管理 方法 系統 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華力微電子有限公司，未經上海華力微電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610498407.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
