[發明專利]硅片批次管理方法及系統在審
| 申請號： | 201610498407.0 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN106056464A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 馬蘭濤;陳毅俊;朱駿 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06Q50/04 | 分類號： | G06Q50/04;H01L21/673;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 批次 管理 方法 系統 | ||
【權利要求書】：
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