[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610494987.6
• 申請日: 2016-06-29
• 公開（公告）號: CN106611714B
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金陽瑞;杜旺朱;李吉弘;張民華;金東和;李旺求;黃金良;崔美京
• 申請（專利權(quán)）人: 艾馬克科技公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56;H01L21/50;H01L23/14;H01L23/31
• 代理公司: 北京寰華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11408
• 代理人: 林柳岑;王興

半導(dǎo)體裝置及其制造方法。一種半導(dǎo)體封裝及一種其制造方法，所述半導(dǎo)體封裝及其制造方法能夠減小所述半導(dǎo)體封裝的大小并且提高產(chǎn)品可靠性。在非限制性實(shí)例實(shí)施例中，所述方法可以包括在晶片上形成插入件，在所述插入件上形成至少一個(gè)加固部件，將至少一個(gè)半導(dǎo)體裸片耦合且電連接到所述插入件，用底膠填充所述半導(dǎo)體裸片與所述插入件之間的區(qū)域，并且使用包封物包封所述插入件上的所述加固部件、所述半導(dǎo)體裸片和所述底膠。

相關(guān)申請/以引用的方式并入的申請的交叉引用

本申請引用、主張2015年10月22日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局遞交的且標(biāo)題為“用于制造半導(dǎo)體封裝的方法以及使用所述方法的半導(dǎo)體封裝(METHOD FOR FABRICATINGSEMICONDUCTOR PACKAGE AND SEMICONDUCTOR PACKAGE USING THE SAME)”的第10-2015-0147395號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)并主張所述韓國專利申請的權(quán)益，所述韓國專利申請的內(nèi)容在此以全文引入的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置及其制造方法。

背景技術(shù)

當(dāng)前用于形成感測器裝置(例如，指紋感測器裝置)的半導(dǎo)體封裝和方法并不適當(dāng)，例如，會(huì)導(dǎo)致感測準(zhǔn)確性和/或裝置可靠性不足、可制造性問題、裝置比需要的更厚、裝置難以整合到其它產(chǎn)品中和/或整合到其它產(chǎn)品中的成本高、等等。通過比較常規(guī)和傳統(tǒng)方法與如在本申請的其余部分中參考圖式闡述的本發(fā)明，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將顯而易見此類方法的另外的限制和缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的各種方面提供一種半導(dǎo)體封裝及一種其制造方法，所述半導(dǎo)體封裝及其制造方法能夠減小半導(dǎo)體封裝的大小并且能夠提高產(chǎn)品可靠性。在非限制性實(shí)例實(shí)施例中，所述方法可以包括在晶片上形成插入件，在插入件上形成至少一個(gè)加固部件，將至少一個(gè)半導(dǎo)體裸片耦合且電連接到插入件，用底膠填充半導(dǎo)體裸片與插入件之間的區(qū)域，并且使用包封物包封插入件上的加固部件、半導(dǎo)體裸片和底膠。

附圖說明

圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于制造半導(dǎo)體封裝的方法的流程圖；

圖2A到2K是示出圖1中所示的用于制造半導(dǎo)體封裝的方法的橫截面圖；

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于制造半導(dǎo)體封裝的方法的流程圖；

圖4A到4C是示出圖3中所示的用于制造半導(dǎo)體封裝的方法的橫截面圖；

圖5是示出在根據(jù)本發(fā)明的用于制造半導(dǎo)體封裝的方法中形成加固部件的步驟的另一實(shí)施例的平面圖；以及

圖6是示出在根據(jù)本發(fā)明的用于制造半導(dǎo)體封裝的方法中形成加固部件的步驟的又另一實(shí)施例的平面圖。

具體實(shí)施方式

以下論述通過提供實(shí)例來呈現(xiàn)本發(fā)明的各種方面。此類實(shí)例是非限制性的，并且由此本發(fā)明的各種方面的范圍應(yīng)不必受所提供的實(shí)例的任何特定特征限制。在以下論述中，短語“例如”和“示例性”是非限制性的且通常與“借助于實(shí)例而非限制”、“例如且不加限制”等等同義。

如本文中所使用，“和/或”意指通過“和/或”聯(lián)結(jié)的列表中的項(xiàng)目中的任何一個(gè)或多個(gè)。作為一實(shí)例，“x和/或y”意指三元素集合{(x),(y),(x,y)}中的任何元素。換句話說，“x和/或y”意指“x和y中的一個(gè)或兩個(gè)”。作為另一實(shí)例，“x、y和/或z”意指七元素集合{(x),(y),(z),(x,y),(x,z),(y,z),(x,y,z)}中的任何元素。換句話說，“x、y和/或z”意指“x、y和z中的一個(gè)或多個(gè)”。