[發(fā)明專利]一種多晶硅片切削液的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610483992.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106118822B | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 郭舒洋;薛培龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海都昱新材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C10M169/04 | 分類號(hào)： | C10M169/04;C10M177/00;C10N30/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律師事務(wù)所 33233 | 代理人： | 陸永強(qiáng) |
| 地址： | 201108 上海市閔*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制備 多晶硅片 切削液 材料加工技術(shù) 粉末攪拌混合 二乙醇胺 分散性能 硅片表面 荷葉表面 加熱混合 潤(rùn)滑性能 三氟乙酸 成品率 山茶油 劃痕 薄膜 加熱 切割 | ||
【說明書】：
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