[發明專利]一種多晶硅片切削液的制備方法有效
| 申請號： | 201610483992.7 | 申請日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN106118822B | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發明（設計）人： | 郭舒洋;薛培龍 | 申請（專利權）人： | 上海都昱新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C10M169/04 | 分類號： | C10M169/04;C10M177/00;C10N30/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律師事務所 33233 | 代理人： | 陸永強 |
| 地址： | 201108 上海市閔*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 多晶硅片 切削液 材料加工技術 粉末攪拌混合 二乙醇胺 分散性能 硅片表面 荷葉表面 加熱混合 潤滑性能 三氟乙酸 成品率 山茶油 劃痕 薄膜 加熱 切割 | ||
【權利要求書】：
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