[發(fā)明專利]一種機械手臂及基板的抓取方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610443457.9 | 申請日： | 2016-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN107527848B | 公開（公告）日： | 2020-12-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙旭良;金嵩 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/683;B25J15/06 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 金華 |
| 地址： | 201306 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 機械 手臂 抓取 方法 | ||
1.一種機械手臂，通過所述機械手臂取放位于基板存放區(qū)域中的基板，其特征在于，所述機械手臂包括：機械手盤、設(shè)置于所述機械手盤上的多個接觸墊和吸附裝置，所述接觸墊用于支撐基板，所述吸附裝置用于吸附固定基板，在所述機械手臂取放基板時，位于基板存放區(qū)域內(nèi)的機械手臂的厚度為機械手盤的厚度與接觸墊的厚度之和，并且所述機械手臂在承載基板時，所述多個接觸墊從基板的多個不同邊緣位置支撐所述基板；其中，所述吸附裝置為可移動設(shè)置在所述機械手盤上，用于在所述機械手臂取放基板時使所述吸附裝置以遠離基板的方向水平移動至所述基板存放區(qū)域的外部，并用于在所述機械手臂傳送基板時使所述吸附裝置以朝向基板的方向水平移動至所述基板的邊緣，以在基板的邊緣位置吸附固定所述基板。
2.如權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述吸附裝置包括至少一個吸盤以及用于驅(qū)動所述吸盤移動的驅(qū)動裝置，所述吸盤移動至所述基板的邊緣位置以吸附固定所述基板。
3.如權(quán)利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述吸附裝置包括兩個吸盤，在吸附固定基板時，兩個所述吸盤分別位于所述基板的上表面和下表面。
4.如權(quán)利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述吸盤的形狀與所述基板的形狀相匹配。
5.如權(quán)利要求4所述的機械手臂，其特征在于，所述基板為圓形，所述吸盤的形狀為圓弧形。
6.如權(quán)利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述吸盤與基板的接觸區(qū)域為從基板的邊緣至中心2mm～5mm。
7.如權(quán)利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述吸盤上具有至少一個通氣孔并通過所述通氣孔與一抽真空裝置連接。
8.如權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述接觸墊為矩形、圓形或橢圓形。
9.如權(quán)利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述接觸墊的厚度為1mm～2mm。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司，未經(jīng)上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610443457.9/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
