[發明專利]濕式制程設備

在審

• 申請號: 201610440307.2
• 申請日: 2016-06-17
• 公開（公告）號: CN107459263A
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 黃榮龍;呂峻杰;陳瀅如
• 申請（專利權）人: 盟立自動化股份有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;C03C23/00
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司44223
• 代理人: 江耀純

技術領域

本發明涉及一種濕式制程設備，特別是涉及一種可在制程中減少對基板的磨耗及可對基板進行雙面制程的濕式制程設備。

背景技術

一般來說，業界多采用濕式制程來對觸控面板的玻璃基板進行加工，濕式制程例如為將玻璃基板經過蝕刻制程進行圖案化的蝕刻或是經過清先制程進行表面清洗等。當玻璃基板在進行上述的濕式制程時，多利用滾輪同時對玻璃基板的板體及從板體延伸的側邊部進行固定與輸送。因此，在玻璃基板與滾輪接觸的一面，滾輪容易對玻璃基板(包含板體及從板體延伸的側邊部)磨耗，另外玻璃基板與滾輪接觸的一面也因滾輪的設置而無法有效進行濕式制程，即公知利用滾輪對玻璃基板進行固定與輸送的作法，僅可對玻璃基板進行單面制程。

發明內容

因此，本發明提供一種可在制程中減少對基板的磨耗及可對基板進行雙面制程的濕式制程設備，以解決上述問題。

為了達成上述目的，本發明公開一種濕式制程設備，可用以支撐一基板，所述基板具有一板體部及一側邊部，所述側邊部延伸于所述板體部，所述板體部具有一上表面及相對所述上表面的一下表面，所述濕式制程設備包含一槽體、多個導輪、多個液浮載板以及一水路模塊，所述槽體用以容置所述基板，所述多個導輪設置在所述槽體內，所述多個導輪對應所述側邊部并用以支撐所述基板的所述側邊部，所述多個液浮載板設置在所述下表面下方，所述多個液浮載板用以對所述下表面噴射一處理液，以在所述下表面與所述多個液浮載板間形成一薄膜層流，所述薄膜層流用以液浮支撐所述板體部，所述水路模塊耦接于所述多個液浮載板，所述水路模塊控制所述多個液浮載板產生能沿一輸送方向流動的所述薄膜層流或產生能沿相反于所述輸送方向的一回復方向流動的所述薄膜層流。

根據本發明其中之一實施方式，所述水路模塊包含多個第一斜行水流通道以及多個第二斜行水流通道，所述多個第一斜行水流通道的走向斜交于所述輸送方向與所述回復方向，所述多個第一斜行水流通道用以將所述處理液以一第一出水方向噴出，所述第一出水方向與所述輸送方向的內積值大于零，所述多個第二斜行水流通道的走向斜交于所述輸送方向與所述回復方向，所述多個第二斜行水流通道用以將所述處理液以一第二出水方向噴出，所述第二出水方向與所述回復方向的內積值大于零。

根據本發明其中之一實施方式，所述水路模塊還包含一供水泵、一第一水路以及一第二水路，所述供水泵用以供給所述處理液，所述第一水路連接所述多個第一斜行水流通道與所述供水泵，所述供水泵所供給的所述處理液通過所述第一水路進入所述多個第一斜行水流通道，所述第二水路連接所述多個第二斜行水流通道與所述供水泵，所述供水泵所供給的所述處理液通過所述第二水路進入所述多個第二斜行水流通道。

根據本發明其中之一實施方式，所述水路模塊還包含一第一止水閥以及一第二止水閥，所述第一止水閥耦接于所述第一水路，所述第一止水閥用以選擇性地阻止所述供水泵所供給的所述處理液通過所述第一水路進入所述多個第一斜行水流通道，所述第二止水閥耦接于所述第二水路，所述第二止水閥用以選擇性地阻止所述供水泵所供給的所述處理液通過所述第二水路進入所述多個第二斜行水流通道。

根據本發明其中之一實施方式，所述多個第一斜行水流通道形成在一部分的所述多個液浮載板上，且所述多個第二斜行水流通道形成在另一部分的所述多個液浮載板上。

根據本發明其中之一實施方式，所述部分的所述多個液浮載板與所述另一部分的所述多個液浮載板交錯設置。

根據本發明其中之一實施方式，所述多個第一斜行水流通道與所述多個第二斜行水流通道分別形成在各液浮載板上。

根據本發明其中之一實施方式，所述水路模塊包含多個第一循環水流通道以及多個第二循環水流通道，所述多個第一循環水流通道用以選擇性地將所述處理液噴出或吸入，所述多個第二循環水流通道用以選擇性地將所述處理液噴出或吸入，當所述多個第一循環水流通道噴出所述處理液時，所述多個第二循環水流通道吸入所述多個第一循環水流通道所噴出的所述處理液，使所述處理液通過所述多個第一循環水流通道與所述多個第二循環水流通道產生沿所述輸送方向流動的所述薄膜層流，當所述多個第二循環水流通道噴出所述處理液時，所述多個第一循環水流通道吸入所述多個第二循環水流通道所噴出的所述處理液，使所述處理液通過所述多個第二循環水流通道與所述多個第一循環水流通道產生沿所述回復方向流動的所述薄膜層流。