[發明專利]一種基于壓電微泵的嵌入式制冷器件及其制備方法有效
| 申請號： | 201610439019.5 | 申請日： | 2016-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN105977370B | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 羅文博;蒲詩睿;吳傳貴;帥垚;張萬里 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L35/02 | 分類號： | H01L35/02;H01L35/34 |
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心 51203 | 代理人： | 張楊 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電微泵 微流道 制冷器件 芯片散熱 芯片 嵌入式 制備 功率半導體器件 溫度分布均勻性 高密度集成 微電子器件 單個芯片 散熱技術 散熱能力 整體封裝 制冷能力 體積小 微系統 散熱 應用 | ||
【說明書】：
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