[發(fā)明專利]一種微壓電驅(qū)動(dòng)器陣列結(jié)構(gòu)的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610415190.2 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105957959A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-09-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李以貴;黃遠(yuǎn);顏平;王歡;胡隆勝;夏碧穎;李俊衡;桑先潤(rùn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院 |
| 主分類號(hào)： | H01L41/22 | 分類號(hào)： | H01L41/22;H01L41/337 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236 | 代理人： | 邵曉麗;胡晶 |
| 地址： | 200235 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 壓電 驅(qū)動(dòng)器 陣列 結(jié)構(gòu) 制備 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
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- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)
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