[發明專利]一種微壓電驅動器陣列結構的制備方法在審
| 申請號： | 201610415190.2 | 申請日： | 2016-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN105957959A | 公開（公告）日： | 2016-09-21 |
| 發明（設計）人： | 李以貴;黃遠;顏平;王歡;胡隆勝;夏碧穎;李俊衡;桑先潤 | 申請（專利權）人： | 上海應用技術學院 |
| 主分類號： | H01L41/22 | 分類號： | H01L41/22;H01L41/337 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236 | 代理人： | 邵曉麗;胡晶 |
| 地址： | 200235 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 驅動器 陣列 結構 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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