[發(fā)明專(zhuān)利]DUT測(cè)試板及其使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610411868.X
• 申請(qǐng)日: 2016-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107490755B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 辛軍啟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種DUT測(cè)試板，其特征在于，包括：電源信號(hào)選擇單元、DUT信號(hào)選擇單元和自動(dòng)切換單元；

所述電源信號(hào)選擇單元用于接收外部測(cè)試機(jī)臺(tái)提供的多個(gè)電源信號(hào)，并根據(jù)測(cè)試要求在所述多個(gè)電源信號(hào)中選擇需要的電源信號(hào)；所述電源信號(hào)選擇單元包括第一電源線、第二電源線、第三電源線、第四電源線和電源接口，所述電源接口用于分別接收第一電源信號(hào)、第二電源信號(hào)、第三電源信號(hào)和第四電源信號(hào)，所述第一電源線、第二電源線、第三電源線、第四電源線的一端均與所述電源接口電性連接，所述第一電源線和第四電源線的另一端直接與所述DUT信號(hào)選擇單元電性連接，所述第二電源線和第三電源線的另一端通過(guò)自動(dòng)切換單元與所述DUT信號(hào)選擇單元電性連接，其中，所述第二電源信號(hào)或第三電源信號(hào)為電源脈沖電源Vpp信號(hào)；

所述DUT信號(hào)選擇單元與所述電源信號(hào)選擇單元電性連接，并根據(jù)所述電源信號(hào)選擇單元提供的電源信號(hào)向待測(cè)樣品提供DUT信號(hào)；

所述自動(dòng)切換單元設(shè)置在所述電源信號(hào)選擇單元與所述DUT信號(hào)選擇單元之間，用于實(shí)現(xiàn)Vpp信號(hào)的自動(dòng)接通與斷開(kāi)。

2.如權(quán)利要求1所述的DUT測(cè)試板，其特征在于，所述自動(dòng)切換單元包括一繼電器；

所述第二電源線和第三電源線通過(guò)短接方式與所述繼電器電性連接；或

所述第二電源線和第三電源線通過(guò)短接方式跳過(guò)所述繼電器，直接與所述DUT信號(hào)選擇單元電性連接。

3.如權(quán)利要求2所述的DUT測(cè)試板，其特征在于，所述繼電器用于接收所述第二電源信號(hào)和第三電源信號(hào)，并實(shí)現(xiàn)所述第二電源信號(hào)與第三電源信號(hào)的自動(dòng)切換，以實(shí)現(xiàn)所述Vpp信號(hào)的自動(dòng)接通與斷開(kāi)。

4.如權(quán)利要求2所述的DUT測(cè)試板，其特征在于，所述繼電器包括：第二電源信號(hào)端、第三電源信號(hào)端和控制端，所述第二電源信號(hào)端用于接收所述第二電源信號(hào)，所述第三電源信號(hào)端用于接收所述第三電源信號(hào)，所述控制端用于接收第四電源信號(hào)，所述第四電源信號(hào)作為控制信號(hào)控制所述繼電器的閉合和斷開(kāi)。

5.如權(quán)利要求1所述的DUT測(cè)試板，其特征在于，DUT信號(hào)選擇單元包括第一選擇端口和第二選擇端口，所述第一選擇端口和第二選擇端口均包括多個(gè)排針，所述多個(gè)排針呈矩形布置，每個(gè)排針均包括第一組連接端、第二組連接端和第三組連接端，所述第一組連接端、第二組連接端和第三組連接端以所述矩形為中心由內(nèi)向外依次排列。

6.如權(quán)利要求5所述的DUT測(cè)試板，其特征在于，所述第一選擇端口的第一組連接端均與所述第一電源線電性連接，所述第一選擇端口的第三組連接端與外部的測(cè)試通道一一對(duì)應(yīng)并電性連接，所述第二選擇端口的第一組連接端均與所述第四電源線電性連接，所述第二選擇端口的第三組連接端以交替方式與所述第二電源線或第三電源線電性連接，所述第一選擇端口的第二組連接端和第二選擇端口的第二組連接端均用于與所述待測(cè)樣品的電性連接。

7.一種DUT測(cè)試板的使用方法，其特征在于，包括：

提供如權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的DUT測(cè)試板，并將所述DUT測(cè)試板安裝到測(cè)試機(jī)臺(tái)上；

將一待測(cè)樣品DUT放置于所述DUT測(cè)試板上，使得所述待測(cè)樣品DUT的引腳與所述DUT測(cè)試板的DUT信號(hào)選擇單元實(shí)現(xiàn)電性連接；以及

對(duì)所述待測(cè)樣品DUT進(jìn)行VT測(cè)試或FT測(cè)試；進(jìn)行VT測(cè)試時(shí)，通過(guò)所述DUT測(cè)試板上的自動(dòng)切換單元自動(dòng)接通電源脈沖電源Vpp信號(hào)；進(jìn)行FT測(cè)試時(shí)，通過(guò)所述DUT測(cè)試板上的自動(dòng)切換單元自動(dòng)斷開(kāi)Vpp信號(hào)。

8.如權(quán)利要求7所述的DUT測(cè)試板的使用方法，其特征在于，對(duì)所述待測(cè)樣品DUT進(jìn)行VT測(cè)試的具體過(guò)程包括：

通過(guò)所述測(cè)試機(jī)臺(tái)向所述DUT測(cè)試板的電源信號(hào)選擇單元分別提供第一電源信號(hào)、第二電源信號(hào)、第三電源信號(hào)和第四電源信號(hào)；

利用所述電源信號(hào)選擇單元對(duì)所述第一電源信號(hào)、第二電源信號(hào)、第三電源信號(hào)和第四電源信號(hào)進(jìn)行選擇，并將VT測(cè)試所需的電源信號(hào)傳輸至DUT信號(hào)選擇單元；以及

通過(guò)所述DUT信號(hào)選擇單元向所述待測(cè)樣品DUT提供VT測(cè)試所需的DUT信號(hào)。

9.如權(quán)利要求7所述的DUT測(cè)試板的使用方法，其特征在于，對(duì)所述待測(cè)樣品DUT進(jìn)行FT測(cè)試的具體過(guò)程包括：

通過(guò)所述測(cè)試機(jī)臺(tái)向所述DUT測(cè)試板的電源信號(hào)選擇單元分別提供第一電源信號(hào)、第二電源信號(hào)、第三電源信號(hào)和第四電源信號(hào)；

利用所述電源信號(hào)選擇單元對(duì)所述第一電源信號(hào)、第二電源信號(hào)、第三電源信號(hào)和第四電源信號(hào)進(jìn)行選擇，并將FT測(cè)試所需的電源信號(hào)傳輸至DUT信號(hào)選擇單元；以及

通過(guò)所述DUT信號(hào)選擇單元向所述待測(cè)樣品DUT提供FT測(cè)試所需的DUT信號(hào)。