[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于制備半導(dǎo)體材料的套管式腔體結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610406792.1 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-12 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105908254B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊建榮;徐超 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B25/08 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B25/08 |
| 代理公司： | 上海新天專(zhuān)利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制備工藝 套管式 源材料 套管 泄漏 制備半導(dǎo)體材料 工藝腔體 管式材料 腔體結(jié)構(gòu) 腔體 材料制備系統(tǒng) 材料制備 輔助手段 改善材料 工藝環(huán)境 工藝狀態(tài) 套管開(kāi)口 溫度分布 工藝腔 均勻性 批生產(chǎn) 泄漏量 加塞 多層 管子 減小 內(nèi)管 相套 體能 體內(nèi) 污染 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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