[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光二極管制備方法和制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610386041.8
• 申請日: 2016-06-03
• 公開（公告）號: CN107464890B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏洋;魏浩明;姜開利;范守善
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光二極管的制備方法，包括提供一基底，在該基底表面形成第一電極；提供一蒸發(fā)源，該蒸發(fā)源包括碳納米管膜結(jié)構(gòu)及有機(jī)發(fā)光層源材料，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)為一載體，該有機(jī)發(fā)光層源材料設(shè)置在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面，通過該碳納米管膜結(jié)構(gòu)承載，該有機(jī)發(fā)光層源材料為該有機(jī)發(fā)光層的材料或者用于形成該有機(jī)發(fā)光層的前驅(qū)體，該前驅(qū)體在蒸鍍的過程中反應(yīng)生成該有機(jī)發(fā)光層；將該蒸發(fā)源與基底具有第一電極的表面相對且間隔設(shè)置，并向該碳納米管膜結(jié)構(gòu)輸入電磁波信號或電信號，使該有機(jī)發(fā)光層源材料蒸發(fā)，在該第一電極上蒸鍍形成有機(jī)發(fā)光層；以及在該有機(jī)發(fā)光層上形成第二電極。本發(fā)明還提供一種有機(jī)發(fā)光二極管的制備裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管制備方法和制備裝置。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管（organic light emitting diode，OLED）是一種發(fā)光層由有機(jī)復(fù)合物構(gòu)成的發(fā)光二極管，作為一種高效的發(fā)光源，其具有重量輕、厚度薄、多色彩、低制造成本等諸多特點(diǎn)，使得有機(jī)發(fā)光二極管在大面積面光源的照明應(yīng)用上逐漸顯露出取代傳統(tǒng)發(fā)光二極管的趨勢，已經(jīng)被廣泛的運(yùn)用于各種領(lǐng)域。現(xiàn)有技術(shù)中形成有機(jī)發(fā)光層的方法通常為蒸鍍，為了形成均勻的有機(jī)發(fā)光層，需要在待鍍基底周圍形成均勻的氣態(tài)蒸鍍材料。有機(jī)發(fā)光層尺寸越大，成膜的均勻性越難保證，并且，由于難以控制氣態(tài)蒸鍍材料原子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)方向，大部分蒸鍍材料都不能附著在待鍍基底表面，從而造成蒸鍍率低且蒸鍍速度慢等問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，確有必要提供一種能夠解決上述問題的有機(jī)發(fā)光二極管制備方法和制備裝置。

一種有機(jī)發(fā)光二極管的制備方法，包括提供一基底，在該基底表面形成第一電極；提供一蒸發(fā)源，該蒸發(fā)源包括碳納米管膜結(jié)構(gòu)及有機(jī)發(fā)光層源材料，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)為一載體，該有機(jī)發(fā)光層源材料設(shè)置在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面，通過該碳納米管膜結(jié)構(gòu)承載，該有機(jī)發(fā)光層源材料為該有機(jī)發(fā)光層的材料或者用于形成該有機(jī)發(fā)光層的前驅(qū)體，該前驅(qū)體在蒸鍍的過程中反應(yīng)生成該有機(jī)發(fā)光層；將該蒸發(fā)源與基底具有第一電極的表面相對且間隔設(shè)置，并向該碳納米管膜結(jié)構(gòu)輸入電磁波信號或電信號，使該有機(jī)發(fā)光層源材料蒸發(fā)，在該第一電極上蒸鍍形成有機(jī)發(fā)光層；以及在該有機(jī)發(fā)光層上形成第二電極。

一種有機(jī)發(fā)光二極管的制備裝置，包括一蒸發(fā)源及加熱裝置，以形成該有機(jī)發(fā)光二極管的光吸收層，該蒸發(fā)源包括碳納米管膜結(jié)構(gòu)及有機(jī)發(fā)光層源材料，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)為一載體，該有機(jī)發(fā)光層源材料設(shè)置在該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面，通過該碳納米管膜結(jié)構(gòu)承載，該加熱裝置能夠向該碳納米管膜結(jié)構(gòu)輸入電磁波信號或電信號，使該有機(jī)發(fā)光層源材料蒸發(fā)從而形成光吸收層，該有機(jī)發(fā)光層源材料為該有機(jī)發(fā)光層的材料或者用于形成該有機(jī)發(fā)光層的前驅(qū)體，該前驅(qū)體在蒸鍍的過程中反應(yīng)生成該有機(jī)發(fā)光層。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明將自支撐的碳納米管膜作為有機(jī)發(fā)光層源材料的載體，利用該碳納米管膜極大的比表面積及自身的均勻性，使承載在該碳納米管膜上的有機(jī)發(fā)光層源材料在蒸發(fā)前即實(shí)現(xiàn)較為均勻的大面積分布。在蒸發(fā)的過程中利用該自支撐碳納米管膜在電磁波信號或電信號的作用下瞬時(shí)加熱的特性，在極短的時(shí)間將有機(jī)發(fā)光層源材料完全氣化，從而形成均勻且大面積分布的氣態(tài)有機(jī)發(fā)光層源材料。該待鍍表面與該碳納米管膜間隔距離短，使承載在該碳納米管膜上的有機(jī)發(fā)光層源材料基本上均能得到利用，有效節(jié)約了有機(jī)發(fā)光層源材料，提高了蒸鍍速度及均勻性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例有機(jī)發(fā)光二極管制備方法的流程圖。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例有機(jī)發(fā)光二極管制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例有機(jī)發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明實(shí)施例從碳納米管陣列中拉取獲得的碳納米管膜的掃描電鏡照片。

圖5為本發(fā)明一實(shí)施例碳納米管膜結(jié)構(gòu)的掃描電鏡照片。

圖6為本發(fā)明另一實(shí)施例有機(jī)發(fā)光二極管制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。