[發明專利]有機發光二極管制備方法和制備裝置

有效

• 申請號: 201610386041.8
• 申請日: 2016-06-03
• 公開（公告）號: CN107464890B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 魏洋;魏浩明;姜開利;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種有機發光二極管的制備方法，包括：

S1，提供一基底，在該基底表面形成第一電極；

S2，提供一蒸發源，該蒸發源包括碳納米管膜結構、有機發光層源材料及支撐體，該碳納米管結構通過該支撐體懸空設置，該碳納米管膜結構為一載體，該有機發光層源材料設置在該懸空的碳納米管膜結構表面，通過該碳納米管膜結構承載，該有機發光層源材料為該有機發光層的材料或者用于形成該有機發光層的前驅體，該前驅體在蒸鍍的過程中反應生成該有機發光層；

S3，將該蒸發源與基底具有第一電極的表面相對且間隔設置，并向該碳納米管膜結構輸入電磁波信號，使該有機發光層源材料蒸發，在該第一電極上蒸鍍形成有機發光層；以及

S4，在該有機發光層上形成第二電極。

2.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，該有機發光層源材料通過溶液法、沉積法、蒸鍍法、電鍍法或化學鍍法等方法承載在該碳納米管膜結構表面。

3.如權利要求2所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，在該碳納米管膜結構表面承載該有機發光層源材料包括以下步驟：

S21，將該有機發光層源材料溶于或均勻分散于一溶劑中，形成一溶液或分散液；

S22，將該溶液或分散液均勻附著于該碳納米管膜結構表面；以及

S23，將附著在該碳納米管膜結構表面的溶液或分散液中的溶劑蒸干，從而將該有機發光層源材料均勻的附著在該碳納米管膜結構表面。

4.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，該步驟S3進一步包括將該蒸發源及有機發光層源材料設置在真空室中，在真空中向該碳納米管膜結構輸入所述電磁波信號的步驟。

5.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，進一步包括提供一電磁波信號輸入裝置，使該電磁波信號輸入裝置向該碳納米管膜結構發出電磁波信號的步驟。

6.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，該步驟S3進一步包括提供一圖案化柵網，將該圖案化柵網設置在該蒸發源與該基底具有第一電極的表面之間，從而形成圖案化有機發光層的步驟。

7.如權利要求6所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，該圖案化柵網包括通孔陣列，該圖案化有機發光層為有機發光層陣列。

8.如權利要求6所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，該步驟S2包括提供多個用于制備不同顏色有機發光層的蒸發源，該步驟S3包括提供分別與該多個蒸發源對應的多個圖案化柵網，以及通過多次蒸鍍在預定位置形成不同顏色的有機發光層陣列。

9.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，在該步驟S3之前，進一步包括提供一空穴傳輸層蒸發源，該空穴傳輸層蒸發源包括碳納米管膜結構及空穴傳輸層源材料，該碳納米管膜結構為一載體，該空穴傳輸層源材料設置在該碳納米管膜結構表面，通過該碳納米管膜結構承載；以及將該空穴傳輸層蒸發源與基底具有第一電極的表面相對且間隔設置，并向該碳納米管膜結構輸入電磁波信號或電信號，使該空穴傳輸層源材料蒸發，在該第一電極上蒸鍍形成空穴傳輸層。

10.如權利要求1所述的有機發光二極管的制備方法，其特征在于，在該步驟S3之前，進一步包括提供一空穴注入層蒸發源，該空穴注入層蒸發源包括碳納米管膜結構及空穴注入層源材料，該碳納米管膜結構為一載體，該空穴注入層源材料設置在該碳納米管膜結構表面，通過該碳納米管膜結構承載；以及將該空穴注入層蒸發源與基底具有第一電極的表面相對且間隔設置，并向該碳納米管膜結構輸入電磁波信號或電信號，使該空穴注入層源材料蒸發，在該第一電極上蒸鍍形成空穴注入層。