[發(fā)明專利]檢測設(shè)備的補償方法

有效

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• 申請日: 2016-05-27
• 公開（公告）號: CN105928946B
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張昕陽;丁曉華;周翔
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市鷹眼在線電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所44287
• 代理人: 胡海國

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測方法技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測設(shè)備的補償方法。

背景技術(shù)

目前，便攜式電子產(chǎn)品已經(jīng)越來越普遍地應(yīng)用在人們的日常生活中，為了滿足人們對電子產(chǎn)品方便攜帶的要求，需要制作體積小、重量輕的先進電子產(chǎn)品，為此需要縮小電子產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)尺寸，使其結(jié)構(gòu)緊湊。而硬性或柔性電路板作為電子產(chǎn)品當(dāng)中必不可少的部分，其尺寸也越來越小，電路越來越復(fù)雜，精準(zhǔn)度也越來越高。用于其檢測的檢測設(shè)備，檢測精度和速度的相應(yīng)提升對行業(yè)生產(chǎn)也起到重要作用。

現(xiàn)有的硬性或柔性電路板檢測設(shè)備，被檢測對象被放置在工作臺上面，由工作臺做直線運動，或者由光學(xué)系統(tǒng)做直線運動對被檢測對象進行掃描，檢查缺陷。但是由于直線運動存在X、Y、Z三個方向，而且3個軸轉(zhuǎn)向方面也會出現(xiàn)運動偏差，尤其是整套系統(tǒng)對直線傳動部分的誤差放大，會導(dǎo)致線掃描出來的圖像合成之后帶有誤差。

目前的做法都是在相機上做一個隨動標(biāo)定塊，然后由相機走不同位置來標(biāo)定整個范圍的誤差。但是，這種做法未能將平臺以及光學(xué)系統(tǒng)的運動姿態(tài)誤差考慮在標(biāo)定內(nèi)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種檢測設(shè)備的補償方法，旨在解決現(xiàn)有做法未能將平臺以及光學(xué)系統(tǒng)的運動姿態(tài)誤差考慮在標(biāo)定內(nèi)的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種檢測設(shè)備的補償方法，包括以下步驟：

在檢測設(shè)備的工作臺上固定一光學(xué)標(biāo)定板，該光學(xué)標(biāo)定板具有XY方向十字交叉的標(biāo)定標(biāo)識中心；

將所述工作臺的運動方向和光學(xué)系統(tǒng)的運動方向在XY方向進行重合比對；

將所述光學(xué)系統(tǒng)移動至所述光學(xué)標(biāo)定板的一個標(biāo)定標(biāo)識中心位置點，將光學(xué)中心對準(zhǔn)標(biāo)定標(biāo)識中心，設(shè)定該標(biāo)定標(biāo)識中心位置點為原點；

識別標(biāo)定標(biāo)識中心到所述光學(xué)中心的偏差；

針對所述偏差進行評估，補償和點位較準(zhǔn)。

進一步地，所述將所述工作臺的運動方向和光學(xué)系統(tǒng)的運動方向在XY方向進行重合比對的步驟，包括以下子步驟：

將線掃描相機和光學(xué)標(biāo)定板對位；

在所述工作臺上安裝一個角度調(diào)整機構(gòu)，并用所述角度調(diào)整機構(gòu)調(diào)整所述光學(xué)標(biāo)定板的角度；

將線掃描相機更換為面陣相機；

將所述工作臺和所述光學(xué)系統(tǒng)在XY方向進行平移，匹配對應(yīng)的X軸、Y軸。

進一步地，所述識別標(biāo)定標(biāo)識中心到所述光學(xué)中心的偏差的步驟，包括以下子步驟：

在光學(xué)標(biāo)定板上標(biāo)定一個以標(biāo)定標(biāo)識的間距的整數(shù)倍為標(biāo)定距離的區(qū)域；

帶動面陣相機移動到固定距離的各個位置點；

通過所述面陣相機拍照，識別標(biāo)定標(biāo)識中心到光學(xué)中心的偏差。

進一步地，所述識別標(biāo)定標(biāo)識中心到所述光學(xué)中心的偏差的步驟之后，還包括以下步驟：

建立基于XY平面坐標(biāo)和各自軸偏差的三維地形分布圖；

利用附近檢測點的偏差，計算任一中間點的偏差。

進一步地，所述檢測設(shè)備包括：控制驅(qū)動系統(tǒng)，連接控制驅(qū)動系統(tǒng)的XY平臺，及反饋位置信號給控制驅(qū)動系統(tǒng)的機械位置反饋編碼器。

進一步地，所述檢測設(shè)備還包括：安裝于所述XY平臺的光學(xué)系統(tǒng)，及對所述光學(xué)系統(tǒng)進行圖像識別和位置定位的圖像處理系統(tǒng)。

進一步地，所述光學(xué)系統(tǒng)為線性掃描相機光學(xué)系統(tǒng)或面陣相機光學(xué)系統(tǒng)。

進一步地，所述光學(xué)標(biāo)定板設(shè)有X方向和Y方向的標(biāo)定刻度。

本發(fā)明的檢測設(shè)備的補償方法，通過在檢測設(shè)備的工作臺上固定一光學(xué)標(biāo)定板，然后將工作臺的運動方向和光學(xué)系統(tǒng)的運動方向在XY方向進行重合比對，將光學(xué)系統(tǒng)移動至光學(xué)標(biāo)定板的一個標(biāo)定標(biāo)識中心位置點，將光學(xué)中心對準(zhǔn)標(biāo)定標(biāo)識中心，設(shè)定該標(biāo)定標(biāo)識中心位置點為原點；，再識別標(biāo)定標(biāo)識中心到光學(xué)中心的偏差，最后針對所述偏差進行評估，補償和點位較準(zhǔn)，來減少或消除直線運動帶來的檢測誤差，提高了檢測精度，解決了現(xiàn)有做法未能將平臺以及光學(xué)系統(tǒng)的運動姿態(tài)誤差考慮在標(biāo)定內(nèi)的問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明檢測設(shè)備的補償方法一實施例的流程圖；

圖2為圖1中步驟S2的流程圖；

圖3為圖1中步驟S3的流程圖。

本發(fā)明目的的實現(xiàn)、功能特點及優(yōu)點將結(jié)合實施例，參照附圖做進一步說明。