[發明專利]檢測設備的補償方法

有效

• 申請號: 201610369835.3
• 申請日: 2016-05-27
• 公開（公告）號: CN105928946B
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 張昕陽;丁曉華;周翔
• 申請（專利權）人: 深圳市鷹眼在線電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所44287
• 代理人: 胡海國

1.一種檢測設備的補償方法，其特征在于，包括以下步驟：

在檢測設備的工作臺上固定一光學標定板，該光學標定板具有XY方向十字交叉的標定標識中心；

將線掃描相機和光學標定板對位；

在所述工作臺上安裝一個角度調整機構，并用所述角度調整機構調整所述光學標定板的角度；

將線掃描相機更換為面陣相機；

將所述工作臺和所述光學系統在XY方向進行平移，匹配對應的X軸、Y軸；

將所述光學系統移動至所述光學標定板的一個標定標識中心位置點，將光學中心對準標定標識中心，設定該標定標識中心位置點為原點；

識別標定標識中心到所述光學中心的偏差；

針對所述偏差進行評估，補償和點位較準。

2.根據權利要求1所述的檢測設備的補償方法，其特征在于，所述識別標定標識中心到所述光學中心的偏差的步驟，包括以下子步驟：

在光學標定板上標定一個以標定標識的間距的整數倍為標定距離的區域；

帶動面陣相機從所述原點移動到固定距離的各個位置點；

通過所述面陣相機拍照，識別標定標識中心到光學中心的偏差。

3.根據權利要求1或2所述的檢測設備的補償方法，其特征在于，所述識別標定標識中心到所述光學中心的偏差的步驟之后，還包括以下步驟：

建立基于XY平面坐標和各自軸偏差的三維地形分布圖；

利用附近檢測點的偏差，計算任一中間點的偏差。

4.根據權利要求1所述的檢測設備的補償方法，其特征在于，所述檢測設備包括：控制驅動系統，連接控制驅動系統的XY平臺，及反饋位置信號給控制驅動系統的機械位置反饋編碼器。

5.根據權利要求4所述的檢測設備的補償方法，其特征在于，所述檢測設備還包括：安裝于所述XY平臺的光學系統，及對所述光學系統進行圖像識別和位置定位的圖像處理系統。

6.根據權利要求5所述的檢測設備的補償方法，其特征在于，所述光學系統為線性掃描相機光學系統或面陣相機光學系統。

7.根據權利要求1所述的檢測設備的補償方法，其特征在于，所述光學標定板設有X方向和Y方向的標定刻度。