[發(fā)明專利]利用載帶的半導(dǎo)體元件包裝裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610365829.0
• 申請日: 2016-05-27
• 公開（公告）號: CN107293507A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高升奎;權(quán)大甲;安珠勛;朱柄權(quán)
• 申請（專利權(quán)）人: 英泰克普拉斯有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 李洋,青煒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種利用載帶的半導(dǎo)體元件包裝裝置，更詳細(xì)而言涉及一種將合格品半導(dǎo)體元件收納于載帶的口袋并由蓋帶密封的包裝裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體元件在通過半導(dǎo)體工序被制造后，在發(fā)貨前會經(jīng)過檢查。即，對于半導(dǎo)體元件，不僅僅是用包裝品包裹的內(nèi)部的不良，存在外觀缺陷時也會對性能產(chǎn)生致命影響。因此，對于半導(dǎo)體元件不僅進(jìn)行電氣動作檢查，還進(jìn)行包括外觀視覺檢查的各種檢查。

經(jīng)過這種檢查的是合格品半導(dǎo)體元件被裝在包裝容器中而向外部發(fā)貨。作為包裝容器可以使用托盤(tray)或者載帶等。一般而言，載帶中以一列排列有多個用于收納半導(dǎo)體元件的口袋(pocket)。載帶以將半導(dǎo)體元件收納于各口袋的狀態(tài)被蓋帶(cover tape)密封后被卷繞于卷繞卷盤。

另一方面，卷繞卷盤將載帶按照半導(dǎo)體元件的批次(LOT)區(qū)分而卷繞，在半導(dǎo)體元件的批次發(fā)生變更的情況下需要交換成新的卷繞卷盤。根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，交換卷繞卷盤的作業(yè)由手工作業(yè)實現(xiàn)的情況占大部分，因此存在包裝作業(yè)效率降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題在于，提供能夠提高將半導(dǎo)體元件包裝在載帶的作業(yè)效率的半導(dǎo)體元件包裝裝置。

為了實現(xiàn)上述課題，根據(jù)本發(fā)明的利用載帶的半導(dǎo)體元件包裝裝置包括載帶供給卷盤、載帶輸送單元、蓋帶供給單元、密封單元、載帶卷繞單元、切割單元、以及附著單元。載帶供給卷盤供給載帶，在該載帶沿著長度方向以一列排列有多個用于收納半導(dǎo)體元件的口袋。載帶輸送單元將從載帶供給卷盤接收的載帶以口袋的各入口朝向上方的狀態(tài)向 一個方向輸送。蓋帶供給單元在通過載帶輸送單元輸送載帶時供給蓋帶，以對收納有向載帶輸送單元的收納區(qū)域供給的半導(dǎo)體元件的載帶的口袋進(jìn)行覆蓋。密封單元使從蓋帶供給單元供給的蓋帶粘合在載帶上而密封載帶的口袋。載帶卷繞單元使空狀態(tài)的各卷繞卷盤依次移動至卷繞被密封單元密封的載帶的位置，使載帶卷繞于分別移動至卷繞位置的各卷繞卷盤。切割單元將從密封單元向載帶卷繞單元輸送的載帶與分別要卷繞于各卷繞卷盤的長度對應(yīng)地切割。附著單元在載帶卷繞于卷繞卷盤時，使載帶的前端附著于卷繞卷盤，使被切割單元切割的載帶的后端附著于載帶的被卷繞的部位。

根據(jù)本發(fā)明，實現(xiàn)半導(dǎo)體元件收納于載帶并密封而卷繞于卷繞卷盤的過程和交換卷繞卷盤的過程的自動化，因此能夠提高包裝作業(yè)效率。

附圖說明

圖1是適用根據(jù)本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體元件包裝裝置的、半導(dǎo)體元件檢查裝備的一例的結(jié)構(gòu)圖。

圖2是根據(jù)本發(fā)明的一實施例的半導(dǎo)體元件包裝裝置的立體圖。

圖3是圖2的主視圖。

圖4用于說明半導(dǎo)體元件收納于載帶并被蓋帶密封的過程的圖。

圖5是表示圖2中的載帶輸送單元的立體圖。

圖6是表示圖2中的蓋帶供給單元的立體圖。

圖7是表示圖2中的密封單元的側(cè)視圖。

圖8是表示圖2中的載帶卷繞單元的立體圖。

圖9是用于說明圖8中的傳感機(jī)構(gòu)的作用例的圖。

圖10是表示圖2中的切割單元的側(cè)視圖。

圖11是表示圖2中的附著單元的主視圖。

圖12以及圖13是用于說明圖11中的剝離器的作用的圖。

附圖標(biāo)記說明

1：載帶；2：半導(dǎo)體元件；3：蓋帶；5：粘合帶；110：載帶供給卷盤；120：載帶輸送單元；130：蓋帶供給單元；140：密封單元；150：載帶卷繞單元；160：切割單元；170：附著單元；181：第一視覺檢查器；182：第二視覺檢查器。

具體實施方式

下面，參照附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。在此，對于相同的結(jié)構(gòu)使用相同附圖標(biāo)記，并省略重復(fù)說明和對于不必要地使本發(fā)明的主旨不明確的公知功能及結(jié)構(gòu)的詳細(xì)說明。本發(fā)明的實施方式是為了對本領(lǐng)域中具備平均知識的人更完整地說明本發(fā)明而提供的。因此，附圖中的要素的形狀及大小等可以為了進(jìn)行更加明確的說明而被放大。

圖1是適用根據(jù)本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體元件包裝裝置的、半導(dǎo)體元件檢查裝備的一例的結(jié)構(gòu)圖。

圖1中示出的半導(dǎo)體元件檢查裝備包括本體10、裝載部21、檢查部30、緩沖部26、殘次品儲存部23、卸載部24、托盤輸送部40、轉(zhuǎn)換器(transfer)50、以及分類部60。