[發(fā)明專利]倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)及倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610362731.X
• 申請(qǐng)日: 2016-05-26
• 公開（公告）號(hào): CN107434129B
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建法;黃俊榮;劉旭水;白峻榮;郭守文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G1/137
• 分類號(hào): B65G1/137;B65G1/04;B65G1/10;B65G47/90
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;鄭泰強(qiáng)

本發(fā)明提供一種倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)。倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)包括多個(gè)儲(chǔ)藏柜及一移動(dòng)模塊。儲(chǔ)藏柜與移動(dòng)模塊以可沿一X軸方向移動(dòng)的方式設(shè)置。儲(chǔ)藏柜各自配置用于儲(chǔ)存至少一元件。移動(dòng)模塊包括一可沿一Z軸方向移動(dòng)的升降平臺(tái)并可選擇性設(shè)置于相鄰儲(chǔ)存柜之間。倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)亦包括一抓取模塊及一定位模塊。抓取模塊及定位模塊設(shè)置于該升降平臺(tái)上。抓取模塊包括一用于抓取該元件的抓取組件。定位模塊用于檢測(cè)該抓取模塊相對(duì)該儲(chǔ)存柜的位置。另外，倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)包括一控制設(shè)備。控制設(shè)備根據(jù)來自該定位模塊的檢測(cè)信號(hào)調(diào)整該倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的運(yùn)作。本發(fā)明倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)中承載設(shè)備可選擇性進(jìn)入位于兩個(gè)相鄰儲(chǔ)藏柜之間的作業(yè)空間，以抓取或放置元件至儲(chǔ)藏柜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)及控制該倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的方法，特別是涉及一種用于儲(chǔ)存半導(dǎo)體加工設(shè)備的倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)及該倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的控制方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體裝置被用于多種電子應(yīng)用，例如個(gè)人電腦、行動(dòng)電話、數(shù)位相機(jī)以及其他電子設(shè)備。半導(dǎo)體裝置的制造通常是通過在半導(dǎo)體基板上依序沉積絕緣或介電層材料、導(dǎo)電層材料以及半導(dǎo)體層材料，接著使用微影工藝圖案化所形成的各種材料層，以形成電路組件和零件于此半導(dǎo)體基板之上。在積體電路的材料及其設(shè)計(jì)上的技術(shù)進(jìn)步已發(fā)展出多個(gè)世代的積體電路。相較于前一個(gè)世代，每一世代具有更小更復(fù)雜的電路。然而，這些發(fā)展提升了加工及制造積體電路的復(fù)雜度。為了使這些發(fā)展得以實(shí)現(xiàn)，在積體電路的制造以及生產(chǎn)上相似的發(fā)展也是必須的。

在半導(dǎo)體裝置的制造中，多種加工元件是依序被使用，以制造積體電路在半導(dǎo)體晶圓之上。舉例而言，具有不同圖案的光罩被使用在多道光顯影步驟中。在光罩使用前及使用后是通常是被儲(chǔ)存至一倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)加以儲(chǔ)藏并管理，以利后續(xù)重復(fù)使用。由于現(xiàn)有的方法及廠房設(shè)備仍未全面滿足上述加工元件管理及儲(chǔ)存的需求，因此仍需一種新的倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)以更高的效率完成倉(cāng)儲(chǔ)管理。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)，以更高的效率完成倉(cāng)儲(chǔ)管理。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，上述倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)包括括多個(gè)儲(chǔ)藏柜及一移動(dòng)模塊。儲(chǔ)藏柜與移動(dòng)模塊以可沿一X軸方向移動(dòng)的方式設(shè)置。儲(chǔ)藏柜各自配置用于儲(chǔ)存至少一元件。移動(dòng)模塊包括一可沿一Z軸方向移動(dòng)的升降平臺(tái)并可選擇性設(shè)置于相鄰儲(chǔ)存柜之間。倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)亦包括一抓取模塊及一定位模塊。抓取模塊及定位模塊設(shè)置于該升降平臺(tái)上。抓取模塊包括一用于抓取該元件的抓取組件。定位模塊用于檢測(cè)該抓取模塊相對(duì)該儲(chǔ)存柜的位置。另外，倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)包括一控制設(shè)備。控制設(shè)備根據(jù)來自該定位模塊的檢測(cè)信號(hào)調(diào)整該第一儲(chǔ)存柜、該第二儲(chǔ)存柜、該移動(dòng)模塊、或該抓取模塊的運(yùn)作。

在上述實(shí)施例中，該定位模塊包括一攝影組件、一激光測(cè)距組件、及一條碼掃描組件。攝影組件配置用于拍攝該第一儲(chǔ)存柜或該第二儲(chǔ)存柜的一影像。激光測(cè)距組件配置用于檢測(cè)該抓取模塊與該第一儲(chǔ)存柜或該第二儲(chǔ)存柜的距離。條碼掃描組件，配置用于讀取位于該第一儲(chǔ)存柜或該第二儲(chǔ)存柜的一位置條碼，或者用于讀取位于該元件的一辨別條碼。該控制設(shè)備根據(jù)所獲得的該影像與所檢測(cè)的該距離執(zhí)行該抓取模塊的定位。

在上述實(shí)施例中，該移動(dòng)模塊包括一升降平臺(tái)及一容置槽。該抓取模塊以可沿一Y軸方向移動(dòng)的方式設(shè)置于該升降平臺(tái)。容置槽設(shè)置于該升降平臺(tái)，并用于放置該元件。

在上述實(shí)施例中，該抓取組件包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的桿件、一第一挾持件與一第二挾持件。第一挾持件與一第二挾持件分別設(shè)置于兩個(gè)桿件，并共同用于夾持該元件。該第二挾持件相對(duì)該桿件的角度根據(jù)該元件的擺放角度而決定。

本發(fā)明的另一目的在于提供一倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的控制方法。該方法包括移動(dòng)一第一儲(chǔ)存柜與一第二儲(chǔ)存柜。該方法還包括移動(dòng)一乘載設(shè)備至定義于該第一儲(chǔ)存柜與該第二儲(chǔ)存柜之間的該作業(yè)空間。該方法亦包括執(zhí)行一位置校正作業(yè)。另外，該方法包括掃描位于該第一儲(chǔ)存柜或該第二儲(chǔ)存柜的一位置條碼。并且，該方法包括自該第一儲(chǔ)存柜或該第二儲(chǔ)存柜抓取該元件，或放置一元件至該第一儲(chǔ)存柜或該第二儲(chǔ)存柜。