[發(fā)明專利]一種離子注入機(jī)的智能工藝互鎖控制方法及系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610355192.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-05-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105867338B | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄧尚上;孫天拓;賴朝榮;王智 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G05B19/418 | 分類號(hào)： | G05B19/418;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 離子 注入 智能 工藝 互鎖 控制 方法 系統(tǒng) | ||
【說明書】：
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