[發明專利]一種離子注入機的智能工藝互鎖控制方法及系統有效
| 申請號： | 201610355192.7 | 申請日： | 2016-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN105867338B | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發明（設計）人： | 鄧尚上;孫天拓;賴朝榮;王智 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 智能 工藝 互鎖 控制 方法 系統 | ||
【權利要求書】：
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