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[發明專利]一種基于冗余金屬的過孔結構及電遷移修正方法有效

專利信息
申請號: 201610341770.1 申請日: 2016-05-20
公開(公告)號: CN105845664B 公開(公告)日: 2018-12-18
發明(設計)人: 陳曉明;耿保林;李松松;張建偉 申請(專利權)人: 大連理工大學
主分類號: H01L23/538 分類號: H01L23/538;H01L21/768
代理公司: 北京金之橋知識產權代理有限公司 11137 代理人: 朱黎光;雷利平
地址: 116024 遼寧省大連市高新*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 冗余 金屬 結構 遷移 修正 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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