[發明專利]一種基于冗余金屬的過孔結構及電遷移修正方法有效
| 申請號： | 201610341770.1 | 申請日： | 2016-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN105845664B | 公開（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發明（設計）人： | 陳曉明;耿保林;李松松;張建偉 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | H01L23/538 | 分類號： | H01L23/538;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京金之橋知識產權代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光;雷利平 |
| 地址： | 116024 遼寧省大連市高新*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 冗余 金屬 結構 遷移 修正 方法 | ||
【權利要求書】：
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