[發明專利]改進的多晶太陽電池的擴散工藝

有效

• 申請號: 201610330027.6
• 申請日: 2015-01-12
• 公開（公告）號: CN105870217B
• 公開（公告）日: 2017-05-17
• 發明（設計）人: 朱金浩;蔣劍波;王猛;許布;萬光耀;陳玨榮;高非;朱慶慶
• 申請（專利權）人: 浙江光隆能源科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙)33265
• 代理人: 蔡鼎

1.改進的多晶太陽電池的擴散工藝，該工藝包括以下步驟：A、低溫沉積：將本體置入普通的擴散爐中，擴散爐中溫度在790℃保持12分鐘，在12分鐘內向擴散爐內通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為16:1，小氮的體積：大氮與氧氣兩者混合氣體的體積＝12:100；步驟A中小氮流量為2L/min，氧氣的流量為0.4L/min，大氮的流量為7.3L/min；

B、變溫沉積：將擴散爐內的溫度在10分鐘內提升至820℃，在10分鐘內向擴散爐內通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為18:1，小氮的體積：大氮與氧氣兩者混合氣體的體積＝14:100；步驟B中小氮流量為2.8L/min，氧氣的流量為0.7L/min，大氮的流量為7.5L/min；

C、高溫沉積：在835℃進行4分鐘的保溫，這個過程中向擴散爐內通入大氮、氧氣和小氮的混合氣體，大氮與氧氣體積比為15:1，所述小氮的體積：大氮與氧氣兩者混合氣體的體積比＝12:100；步驟C中小氮流量為2.5L/min，氧氣的流量為0.6L/min，大氮的流量為7.3L/min；

D、升溫：將10分鐘內將擴散爐內的溫度升至845℃，升溫過程中向擴散爐內通入大氮；

E、高溫推結：待擴散爐內在850℃溫度時穩定后，在14分鐘內向擴散爐內通入大氮和氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的38％；

F、冷卻：在14分鐘內將擴散爐內的溫度降至770℃，這個過程中向擴散爐內通入大氮、氧氣的混合氣體，氧氣占混合氣體體積的36％。

2.根據權利要求1所述的改進的多晶太陽電池的擴散工藝，其特征在于，所述擴散爐內的氣體流量恒定。

3.根據權利要求2所述的改進的多晶太陽電池的擴散工藝，其特征在于，所述擴散爐內的氣體通入流量為7L/min—10L/min。

4.根據權利要求3所述的改進的多晶太陽電池的擴散工藝，其特征在于，所述小氮流量為2L/min～2.8L/min，所述氧氣的流量為0.4L/min～0.8L/min，所述大氮的流量為7.2L/min～7.7L/min。