[發(fā)明專利]劃片設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610329810.0
• 申請(qǐng)日: 2016-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN107151091B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔漢鉉;鄭下震;趙晉完;麴今鎬;李峻碩;金范錫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 塔工程有限公司
• 主分類號(hào): C03B33/10
• 分類號(hào): C03B33/10
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷;李英艷

1.一種劃片設(shè)備，包括：

裝載臺(tái)，基板被裝載在該裝載臺(tái)上；

基板運(yùn)送單元，其保持被放置在所述裝載臺(tái)上的所述基板的后緣并運(yùn)送所述基板；

劃片單元，其在由所述基板運(yùn)送單元運(yùn)送的所述基板上形成劃片線；以及

支撐單元，當(dāng)所述基板的前緣進(jìn)入劃片處理區(qū)域時(shí)，所述支撐單元支撐所述基板的前緣，所述劃片單元在所述基板上在所述劃片處理區(qū)域中形成劃片線，從而劃片線被形成在所述基板的前緣處；

其中，所述支撐單元包括：

保持構(gòu)件，其保持所述基板；

提升裝置，其沿Z軸方向移動(dòng)所述保持構(gòu)件，其中所述Z軸方向垂直于所述基板被放置的平面的方向；

移動(dòng)裝置，其沿X軸方向移動(dòng)所述保持構(gòu)件，其中所述X軸方向?yàn)樗龌宓倪\(yùn)送方向；以及

旋轉(zhuǎn)裝置，使所述保持構(gòu)件旋轉(zhuǎn)；

其中，在所述保持構(gòu)件保持所述基板的前緣的狀態(tài)下，所述保持構(gòu)件沿X軸方向和/或沿Z軸方向移動(dòng)，從而使所述基板的前緣與所述基板分離；且

當(dāng)所述基板從所述裝載臺(tái)被運(yùn)送到卸載臺(tái)時(shí)，所述保持構(gòu)件旋轉(zhuǎn)以保持所述基板的后緣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片設(shè)備，其中，所述支撐單元還包括位置調(diào)整裝置，所述位置調(diào)整裝置與所述保持構(gòu)件連接，并沿X軸方向調(diào)整所述保持構(gòu)件的位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片設(shè)備，其中，在所述保持構(gòu)件保持所述基板的前緣的狀態(tài)下，所述保持構(gòu)件旋轉(zhuǎn)以使所述基板的前緣與所述基板分離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的劃片設(shè)備，其中，當(dāng)所述基板從所述裝載臺(tái)被運(yùn)送到卸載臺(tái)時(shí)，所述保持構(gòu)件旋轉(zhuǎn)以保持所述基板的后緣。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片設(shè)備，其中，當(dāng)所述基板進(jìn)入所述劃片處理區(qū)域時(shí)，所述支撐單元支撐所述基板的前緣，且能夠與所述基板運(yùn)送單元一起運(yùn)送所述基板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的劃片設(shè)備，其中，所述支撐單元還包括用于使所述保持構(gòu)件振動(dòng)的振動(dòng)發(fā)生器，以使所述基板的前緣與所述基板分離。